第二篇-第六章-高反射镜.pptVIP

由于铝氧化层使紫外区域的反射率有所下降，所以在沉积铝膜后立即涂敷一MgF2或LiF膜，反射率可得到部分改善，这种涂敷保护膜的铝镜反射率如图6-24所示。 在真空紫外区域，改善金属膜的反射率，可以加镀适当厚度的铂膜或铝膜，图6-25是在铱基底上镀不同厚度铝膜的实测反射率曲线，反射率随铝膜厚度的变化很明显，这种膜已在空间领域得到应用。 6.9 影响反射特性的因素* 对于前面讨论的高低折射率四分之一波长周期多层膜系、金属高反射膜以及金属-介质反射膜，理论计算得到的反射率与实际测量得到的反射率是有差别的，尤其是在紫外和X射线区域，差别更为明显。 1．膜层厚度误差 2．色散 3．吸收 4．表面和层间界面的不光滑性 6.10 高反射镜应用实例 不管是高、低折射率周期多层介质高反射镜还是金属高反射镜，在不同领域的应用都十分广泛，下面列举三个典型实例。 6.10.1 激光高反射镜 随着激光技术的发展，对激光谐振腔等光学镀膜元件的性能提出了新的要求，超低功耗激光反射镜要求激光高反射膜必须具备吸收小、散射强度小、反射功率大和耐激光损伤阈值高等优点。激光高反射镜仍然采用高、低折射率四分之一波长周期多层膜，不过高折射率 介质是混合膜料，而不是单一的高折射率材料，目的是通过混合提高膜层的填充密度，以减小散射损耗并提高激光