第四章-电子显微分析(SEM提前).pptVIP

现代材料测试与分析技术 4.1.2 电子的波性及波长 随着人们对微观粒子运动的深入认识，用于显微镜的一种新的照明源 — 电子束被发现了。 4.1.4 电磁透镜的像差及分辨本领 控制电子束的运动在电子光学领域中主要使用电磁透镜装置。但电磁透镜在成像时会产生像差。 像差分为几何像差和色差两类。 几何像差：由于透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的像差。 色差：由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的像差。 电子枪种类: 钨(W)灯丝(热游离方式) 六硼化镧(LaB6)灯丝（热游离方式） 场发射 (Field Emission) （场发射） 热游离方式：利用高温使电子具有足够的能量去克服电子枪材料的功函数(work function)能障而逃离。 场发射方式：当在真空中的金属表面受到108V/cm大小的电子加速电场时，会有可观数量的电子发射出来。其原理是高电场使电子的电位障碍产生Schottky效应(量子隧穿效应），使能障宽度变窄，高度变低，电子可直接穿隧通过此狭窄能障并离开阴极。 钨灯丝 六硼化镧(LaB6) 电子能量散布 2 eV 1 eV 钨的功函数 4.5eV 2.4eV 操作温度 2700K 1500K 使用寿命