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* 3 电子衍射 3.4.3 菊池衍射花样 菊池线是由经过非弹性散射失去较少能量的电子随后又受到弹性散射所产生的。 * 3 电子衍射 3.4.4 孪晶衍射花样 孪晶是由不同位向的两部分晶体组成,所以其衍射花样是两套不同晶带单晶斑点的叠加,而这两套斑点的相对位向势必反映基体和孪晶之间存在着的对称取向关系。 * 3 电子衍射 3.4.5 二次衍射花样 电子通过晶体时,产生的较强衍射线可以作为新的入射线,在晶体中再次产生衍射。 (a) (b) O D1 O D2 O D1 D2 (c) (d) 两相合金二次衍射示意图 d1晶体Ⅰ d2晶体Ⅱ O D3 D2 D1 NiTiC合金中常有TiC相时效析出,其电子衍射图中有两套主要格子,同时有许多弱衍射斑出现在主衍射斑周围,这些弱衍射斑就是二次衍。 * 4 显微图像观察 4.1 形貌观察 Pd-Pt QD graphene@Co3O4 * 4 显微图像观察 4.2 位错观察 位错线像总是出现在它的实际位置的一侧或另一侧。 位错线像总是有一定的宽度. * 4 显微图像观察 4.3 层错观察 衍衬图像存在层错的区域将与无层错区域呈现不同的亮度,即构成衬度。 若入射电子束方向正好与膜面垂直,则层错区域本身不产生衬度,层错区显示为均匀的亮区或暗区。 * 4 显微图像观察 4.3 第二相粒子观察 g 无衬度线 第二相粒子的存在引起周围基体点阵畸变,电子束穿过畸变区时,振幅和强度有别与无缺陷区而产生衬度 * 4 显微图像观察 4.4 晶界观察 小角度晶界 倾转晶界 扭转晶界 大角度晶界 倾转 晶界 扭转晶界 大角晶界 晶粒1 晶粒2 4 显微图像观察 * 4 显微图像观察 4.5 晶格观察(HRTEM) ZnSe 孪晶 graphene@TiO2 * 4 显微图像观察 4.6 碳纳米管壁数观察(HRTEM) 从左到右为SWNT,MWNT(包含2、3、4 、5层石墨片层) * 5 元素分析(EDX,EELS) ZnSe的EDX 谢谢! 透射电镜的原理和应用. 谢谢 Transmission Electron Microscope (TEM) 杜罗军 导师:张立源 2013-06-12 主要内容: 电子光学基础 TEM的主要结构与成像原理 电子衍射 显微图像 元素分析 * 图(a)点O1 、 O2 形成两个Airy斑;图(b)是强度分布。 O1 O2 d L B2 B1 Md 强度 D (a) (b) 1 电子光学基础 由于衍射,显微镜的分辨率d为: 1.1 光学显微镜的局限性 * 1 电子光学基础 显微镜的分辨率取决于波长,波长越短,分辨率越大。 光学显微镜 2000? 紫外线显微镜 1000? 对许多显微组织来说明显不够!! 更短的波长!! X射线? 很遗憾,不能汇聚 运动的电子? 磁透镜使其会聚 电子显微镜! 由波粒二象性,电子波长 如 300kV, 电子波长0.0197?,远小于可见光波长 * 1 电子光学基础 1.2 磁透镜的聚焦原理 图:电子在磁透镜中的运动轨迹,以及A点位置的B 和v的分解情况 O O’ z A C 电子Lorentz力的作用下,产生一个绕轴旋转的切向速度 ,同时 作用于 ,产生一个使电子折向轴的聚焦力 ,在 的作用下,电子轨道弯曲折向对称轴,实现电子聚焦。 * 1 电子光学基础 电子磁场中受到Lorentz力: * 1 电子光学基础 1.3 电子透镜的像差 100kV的加速电压下,电子波波长为0.037? 根据 显微镜的最小分辨率理论可达0.02?左右。然而到目前为止,电镜的最佳分辨率仍停留在1-2?的水平。 ?? * 1 电子光学基础 原因:电磁透镜存在像差 几何像差 色差 几何像差 球差:透镜中心与边缘对电子的会聚能力不同引起 畸变:球差引起,离径向距离不同放大倍数不同 像散:磁场的旋转对称性受到破坏,不同方向有不同聚焦能力 色差:电子速度效应。波长短能量大的电子具有较大的焦距,波长长能量小的电子具有较短的焦距 * 1 电子光学基础 1.4 电子透镜的分辨率 在磁透镜里,对分辨率影响对最大的是衍射效应和球差,考虑两者的和效应,有 目前准确的分辨公式与孔径角为: * 2 TEM的主要结构与成像原理 2.1 TEM的基本结构 TEM 电子光学系统 真空系统 电压控制系统 (1) 照明系统 (2) 成像系统 (3) 观察记录系统 电子光学部分是核心!! * 2 TEM的主要结构与成像原理 Illumination system Imaging system Image viewing and recording * 2 TEM的主要结构与成像原理 电子
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