CELL工艺流程及设备欧姆龙自动化.pptx

CELL工艺流程及设备欧姆龙自动化（中国）有限公司行业开发统辖部市场开发二部TFT-LCD面板制程　CF制程主要是在玻璃上制作具有透光性红、绿、蓝三原色的彩色滤光膜层。　 Cell制程是以前段Array的玻璃为基板，与彩色滤光片的玻璃基板结合，并在两片玻璃基板间灌入液晶(LC)后贴合，再将大片玻璃切割成面板。　Module制程是将Cell制程后的玻璃与其它如驱动电路IC、背光板、外框等多种零组件组装的生产作业。　 Array制程与半导体相似，不同的是将薄膜电晶体制作于玻璃上，而非硅晶圆上。目 录一. Cell 工艺流程概述1.1 Cell 的目的：将TFT基板和CF基板经配向膜处理，液晶滴下，真空对合，cutting后形成完整的光学系统。公共电极PSPICF GlassGlass Fiber未加电压，光线可通过AU BallTFT GlassLCSealant施加电压，光线不可通过一. Cell 工艺流程概述1.2 Cell 工艺流程图：LC DropC/FPI CoatingCleaningRubbingTFTSeal++CuttingVacuum AligningCellTFTCF一. Cell 工艺流程概述1.3 Cell Lot Flow Simulation ：EdgeCleanPI CoatingMaincurecleanEdgeGrindCFSortBurrCh