生物医学传感器原理与应用第3章 电阻式传感器.ppt

* 3.3.3 扩散型压阻式传感器 （1）扩散型压阻式压力传感器 压阻式固态压力传感器如图3.23所示。其核心部分是一块圆形的膜片，在膜片上利用集成电路的工艺方法制成4个阻值相等的电阻，构成平衡电桥，膜片周围用一圆形硅环固定，如图3.24所示。膜片的两边有两个压力腔。当膜片两边存在压力差时，膜片上各点存在应力并产生相应的应度。4个电阻在应力作用下阻值发生变化，电桥失去平衡，输出相应的电压，这个电压与膜片两边的压差成正比。测量电压就能得到膜片所受压差的大小，如果一腔的压力已知，则另一腔的压力也可求得。由弹性敏感元件的知识知道，圆形平膜片上各点的径向应力σT，和切向应力σt，可用下列式表示： * * * * * * 利用集成电路工艺制造成的压阻式压力传感器，突出优点之一是可以做得尺寸很小，固有频率很高。圆形平膜片的固有频率为 （2）固态压阻式加速度传感压阻式加速度传感器是利用单晶硅作为悬臂梁，在其根部扩散出4个电阻，见图3.27，当悬臂梁自由端的质量块受到加速度作用时，悬臂梁受到弯矩作用，产生应力，使4个电阻阻值发生变化。 * * * * 3.4 电阻式传感器的测量电路 测量电路的作用是将电阻传感器的电阻变化转化为电压或电流的变化，供显示和记录。有时电阻式传感器的电阻变化很小，测量电路中须有放大器，才能观察到微弱的电阻变化。将电阻变化转换为电压变化的常用电路有两种：一种是电位