第8章电荷耦合器件.pptVIP

第八章 电荷耦合成像器件 固体成象器件就不需要在真空玻璃壳内用靶来完成光学图象的转换及电子束按顺序进行扫描就能获得视频信号，即器件本身就能完成光学图象转换、信息存贮和按顺序输出（称自扫描）视频信号的全过程。 1970年由贝尔实验室的贝埃尔（Boyle）和史密斯（Smith）提出来的一种MOS结构的新型器件－电荷耦合器件（CCD：charge couple Device）。 CCD有两种基本类型：一种是电荷包存贮在半导体与绝缘体之间的界面，并沿界面传输，这类器件称为表面沟道电荷耦合器件(简称SCCD)；另一种是电荷包存贮在离半导体表面一定深度的体内，并在半导体内沿一定方向传输，这类称为体内沟道或埋沟道电荷耦合器件(简称BCCD)。 一、结构 电荷耦合器件简称CCD，从结构上讲，它是由许多小MOS电容组成。 MOS电容即金属（Metal）-氧化物(Oxidation)-半导体(Seminconductor)构成的电容器，常称为MOS电容，或MOS结构。 二、电荷存储 在栅极G施加正偏压UG之前p型半导体中空穴(多数载流子)的分布是均匀的。当栅极施加上偏压UG(此时UG小于p型半导体的阈值电压Uth)后，空穴被排斥，产生耗尽区，偏压继续增加，耗尽区将进一步向半导体体内延伸。 当UGUth ，半导体与绝缘体界面上的电势(常称为表面势)变