武汉大学材料制备1材料物理制备基础绪论.pptVIP

1、旋片式油封机械泵 压力范围为~1Pa， 2、油扩散泵 工作在1~10-8Pa之间 3、分子泵： 压力范围为1~10-8Pa， 4、溅射离子泵： 极限压力~10-9Pa， 5、升华泵 极限压力~10-10Pa 作业： 离子泵；扩散泵；分子泵的构造和原理 二、真空室 腔体、观察窗、制备装置等等。 真空度的划分 低真空： 〉102Pa 中真空： 102~10-1Pa 高真空： 10-1~10-5Pa 超高真空： 〈10-5Pa 通常：真空蒸发沉积法：高真空、超高真空 溅射法： 10-2~100Pa 1大气压=1.013*105Pa 密封的方法： 1、橡胶密封圈 2、金属密封圈 密封圈的安装方法： 1 2 3 4 5 6 7 8 1 2 3 4 5 6 7 8 检漏的方法 1、液体蒸发法； 2、气体电离法； 3、质谱仪法； 二、真空的测量 1、热偶真空计：以气体的热导率随