第九章 透射电子微镜.ppt

内容回顾：电子光学基础 光学显微镜的分辨率 极限（200nm) 原因？ 受可见光波长限制 电子波 比可见光短十万倍 光学透镜、电磁透镜的成像原理 电磁透镜的像差与分辨本领 电磁透镜的景深和焦长 第九章 透射电子显微镜 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 分析型透射电子显微镜 超高压电镜 TEM发展简史 1924年de Broglie提出波粒二象性假说 1926 Busch指出“具有轴对称性的磁场对电子束起着透镜的作用，有可能使电子束聚焦成像”。 1927 Davisson Germer, Thompson and Reid 进行了电子衍射实验。 1933年柏林大学的Knoll和Ruska研制出第一台电镜（点分辨率50nm, 比光学显微镜高4倍)，Ruska 为此获得了Nobel Prize（1986）。 1949年Heidenreich观察了用电解减薄的铝试样； 近代TEM发展史上三个重要阶段 像衍理论(50－60年代)： 英国牛津大学材料系 P.B.Hirsch, M.J.Whelan；英国剑桥大学物理系 A.Howie （建立了直接观察薄晶体缺陷和结构的实验技术及电子衍射衬度理论） 高分辨像理论（70年代初）： 美国阿利桑那州立大学物理系J.M.Cowley，70年代发展了高分辨电子显微像的理论与技术。 高空间分辨分析电子显微学（ 70年代末，80年代初）采用高分辨分析电子显微镜（HREM，NED，EELS, EDS）对很小范围（～5?）的区域进行电子显微研究（像，晶体结构，电子结构，化学成分）? 各国代表人物 美国伯克莱加州大学G.Thomas将TEM第一个用到材料研究上。 日本岗山大学H. Hashimoto日本电镜研究的代表人。 中国：钱临照、郭可信、李方华、叶恒强、朱静。 国内电镜做得好的有：北京电镜室（物理所）、沈阳金属所、清华大学。 为什么要用TEM? 1）可以实现微区物相分析。 为什么要用TEM? 2）高的图像分辨率。 为什么要用TEM? 3）获得立体丰富的信息。 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 通常透射电镜由电子光学系统、电源与控制系统、真空系统、和循环冷却系统组成，其中电子光学系统是电镜的主要组成部分。 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 电子光学系统组成 电 电子枪 子 聚光镜 光 样品台 样品装置部分 学 物镜 系 中间镜 成像部分 统 投影镜 荧光屏 照相底片 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 照明系统主要组成： 电子枪+平移对中、倾斜调节装置+聚光镜 照明系统的作用：提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 灯丝 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 热阴极三极电子枪：发夹形钨丝阴极＋栅极帽＋阳极， 栅极作用：限制和稳定电子束流 电子源：阴极和阳极之间电子束会集成的交叉点 电子源直径：几十个微米 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 § 9-1 透射电子显微镜的结构和成像机理 聚光镜：会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照射样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小 双聚光镜系统：第一聚光镜是强激磁透镜；第二聚光镜是弱激磁透镜 成像系统 （一）物镜 物镜作用：成像系统的第一级放大透镜，形成第一幅高分辨率电子显微图像和电子衍射花样。 物镜特点：强激磁、短焦距（1-3mm），高放大倍数，高分辨率。 物镜决定透射电子显微镜分辨本领 物镜是一个强激磁短焦距的透镜，它的放大倍数较高，一般为100-300倍。目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm左右。 光学透镜的焦距是固定的。电磁透镜的焦距是可以通过调节电流大小来改变。 在用透射电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间和距离固定不变的，（即物距L1不变）。因此改变物理学电镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f 和 L2）来满足成像条件。 （二）中间镜 作用：在电镜操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的放大倍数。 特点：弱激磁，长焦距，可变倍透镜，放大倍数0-20倍。 （三）投影镜 投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上 它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。投影镜的激磁电流是固定的。 成像电子束进入投影镜时孔径角很小（约10-5rad）,因此它