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扫描电镜快速给出光子学研究结果 发布者 ：飞纳电镜 “从技术上讲 ，飞纳台式扫描电镜优于其他台式扫描电镜” 美国理波公司 美国理波公司是全球领先的先进技术产品和为科学研究提供解决方案的供应商。位于加州 的技术和应用中心 ，Tommaso Baldacchini博士为微加工和微机械研发市场开发了超快 的光电子学解决方案。 随着设备尺寸的缩减 ，需要采用新技术来创建和评估纳米级的结构。在理波 （Newport ） 公司 ，Tommaso Baldacchini博士正在开发微加工和微机械技术 ，制造具有 100纳米尺 寸的结构。需要扫描电子显微镜 （SEM ）来鉴定微米和纳米级的微观结构。对 Baldacchini博士来说 ，运用飞纳台式扫描电镜是一个很好的节省时间的方法——提供 SEM成像和成分分析。选择飞纳台式扫描电镜 SEM是基于设备的科学价值 ，并且飞纳电 镜的拓展性较好 ，可以随时为当前和未来的应用提供便利。 专为研发设计 ：飞纳台式扫描电镜 传统的加工通常采用激光烧蚀来切割或铣削材料。 超高速微加工和微机械利用短脉冲激光 ， 在微米尺度下创造或切割 2D或 3D结构。对这些微结构的分析需要扫描电镜 （SEM ）， 提供高分辨率的大范围的图像。因为在使用新材料时要测试的变量很多 ，所以在开发过程 中 ，需要花费很多时间在设备中进行扫描。很明显 ，现场成像微观结构是必要的。在对不 同系统的台式扫描电镜和相同的样品进行图像评估后 ，Tommaso Baldacchini博士选择 了飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版 Phenom Pro ，并指出它是 “专门为研究和开发所设 计的”。 高精度微型加工结构 创建微型或纳米器件的传统方法往往不再适用 ，因为尺寸正不断缩小。理波 （Newport ） 公司开发了一种利用双光子聚合 （TPP ）来制造复杂结构的激光 mFAB。TPP是一种印刷 技术 ，可实现特征尺寸小至 100 nm的聚合物微结构的真实三维书写。理波 （Newport ） 公司已将 TPP应用于之前不可能用标准制造技术制造的设备。包括微电子学 ，光子学和用 于药物输送的生物医学装置。 这里展示了TPP创建的结构的示例。TPP是唯一能够在这些长度范围内制造物体的技术。 台式扫描电镜 （SEM ）是分析这些微观结构表面特征的最佳仪器。 TPP是一种增材制造工艺 ，通过激光诱导光聚合将材料添加到基材上。 激光 mFAB也可 以执行消减类型的过程 ，如聚合物消融。 在下面一组图像中显示了在纳米尺度上去除材料 的示例。 对于这个烧蚀样品 ，使用了飞纳台式扫描电镜高分辨率专业版 Phenom Pro来验证消融线 是否清晰完整 ，是否有碎片或凸起的边缘。超短脉冲激光器用于激光 mFAB的高精度冷切 割。材料聚合物和电介质 （消融 ）的应用从光伏到平板显示器有很多种。 扫描电镜 （SEM ）提供了所需的景深 ，可以看到顶部、侧面和底部。在微观和纳米尺寸上 ， 需要用飞纳台式扫描电镜 （SEM ）对消融结构进行成像。 Baldacchini博士使用 Phenom Pro ，加速开发和应用 ，在理波 （Newport ）公司的技术 和应用中心使用激光 mFABTM。详细的微观结构如图所示。 彩色的扫描电镜 SEM 图像结构 （左 ）和小型化 Michelangelo’s David （右 ），理波 （ Newport ）公司微加工制造。 飞纳台式扫描电镜中2150x （左 ）和 8300x （右 ）放大倍数下的样品图像