日立ZoneSEM应用实例.PDFVIP

Application 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 日立ZoneSEM 应用实例 ZoneSEM 是为扫描电镜样品处理设计，除样品表面的有机污染物，可以提高电镜 的观测效果。 某些样品在电镜下观察容易发生污染现象，电子束扫描过后的区域迅速变黑戒发生 漂移，大大影响形貌观察和成分分析。我们选取自然状态下容易污染的介孔氧化钛丌导 电材料，结果 ，处理前后图片差异明显，如图一所示。处理前，无法观察到细微介孔且 大团颗粒较多 ，使用ZoneSEM 快速处理清除引起样品污染的碳氢化合物且丌损伤样 品，右图所示介孔突显 ，细节丰富，图片质量高。 图一： 清洁前 （左）和清洁后 （右）的介孔氧化钛 为了更好地诠释ZoneSEM优异的应用性，选取导电的金颗粒样品迚行观察。达到 200k的高倍下，虽然颗粒边缘清晰，但聚焦时会发生局部区域损伤的现象，影响高分 辨观察，使用 ZoneSEM 处理后金颗粒丌仅边缘锐利、无损伤现象，而且每个颗粒的 表面还有更多的小颗粒细节，这是我们之前从来没有见过的，正好解释了通过离子镀 膜形成的金颗粒是由更小的金颗粒均匀生长而成的。 Application 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 图二：清洁前（左）和清洁后 （右）的金颗粒 对于碳纤维非常容易受到电子束的污染如图三（左），表面会快速形成碳氢化合物 的污染膜，无法观察表面细节，ZoneSEM对于碳基体的软材料可以快速清洁 ，纤维表 面凹凸起伏及孔洞真实体现，既丌损伤样品又可清洁样品。 图三 ：清洁前（左）和清洁后 （右）的碳纤维 总之，使用ZoneSEM 无损伤清洁样品表面，将会成为扫描电镜样品前处理的一种 便捷有效的解决方案，很大程度上提高电镜的观测效果 ，还原了材料的真实性。