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武 汉 职 业 技 术 学 院 毕业论文 几种膜系的理论及应用研究 系别:光电子技术系 班级:光电 11303 作者:韩炜 指导教师:张雅娟 2014年 02月22 日 摘 要 镀膜是将光学薄膜沉积在光学零件表面的制造过程。光学薄膜应用于各种反射和透射光学元件，薄膜技术是光学技术的一个重要组成部分。镀膜技术涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。本文阐述了几种常见镀膜工艺的特点，进行工艺比较，结合当前的实际应用对镀膜的应用做了一定的归纳和总结，对未来镀膜工艺进行展望。着重介绍了ITO膜和PI膜 关键词：镀膜 薄膜 ITO膜 PI膜 目录 摘要 I 1 绪言1 1．1镀膜意义1 1．2光学薄膜1 2 镀膜技术2 2.1常用的镀膜工艺2 2.2三种镀膜工艺比较3 2.3三种镀膜工艺的应用3 3 光学薄膜分类5 3.1减反射膜5 3.2反射膜6 3.3干涉滤光片7 3.4分光膜7 4 ITO薄膜8 4.1ITO薄膜基本性能8 4.2 ITO薄膜在国内的发展11 5 聚酰亚胺薄膜（PI膜）12 5.1聚酰亚胺薄膜（PI膜）特性12 5.2聚酰亚胺优点13 5.3 PI膜未来发展13 6 光学镀膜的应用前景14 6.1 光学镀膜在光学上的应用14 6.2 光学镀膜在电子电路上的应用14 6.3 光学镀膜在机械工业的应用14 6.4光学镀膜在生活中的应用15 6.5 前景展望15 参考文献16 1 绪言 1.1镀膜意义 镀膜在利用某些薄膜材料的红外线反射性能的同时，也利用了薄膜在可见光谱范围的干涉效应，通过对薄膜厚度的调整，既达到热反射功能，又可形成所需的反射颜色效果。 镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜，或镀一层金属膜，目的是改变材料表面的反射和透射特性。 在可见光和红外线波段范围内，大多数金属的反射率都可达到78%~98%，但不可高于98%。无论是对于CO2激光，采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜，采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料，还是对于YAG激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料，都不能达到全反射镜的99%以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求，因此必须采用光学镀膜方法。 对于CO2激光灯中红外线波段，常用的镀膜材料有氟化钇、氟化镨、锗等；对于YAG激光灯近红外波段或可见光波段，常用的镀膜材料有硫化锌、氟化镁、二氧化钛、氧化锆等。除了高反膜、增透膜之外，还可以镀对某波长增反射、对另一波长增透射的特殊膜，如激光倍频技术中的分光膜等。 当光线进入不同传递物质时（如由空气进入玻璃），大约有5% 会被反射掉，在光学瞄准镜中有许多透镜和折射镜，整个加起来可以让入射光线损失达30%至40%。现代光学透镜通常都镀有单层或多层氟化镁的增透膜，单层增透膜可使反射减少至 1.5%，多层增透膜则可让反射降低至 0.25%，所以整个瞄准镜如果加以适当镀膜，光线透穿率可达 95%。镀了单层增透膜的镜片通常是蓝紫色或是红色，镀多层增透膜的镜片则呈淡绿色或暗紫色 。 1.2光学薄膜 由薄的分层介质构成的，通过界面传播光束的一类光学介质材料。光学薄膜的应用始于20世纪30年代。现代，光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域，制造各种光学仪器。 虽然薄膜的光学现象早在17世纪就为人们所注意，但是把光学薄膜作为一个课题进行专门研究却开始于20世纪30年代以后，这主要因为真空技术的发展给各种光学薄膜的制备提供了先决条件。时至今日，光学薄膜已得到很大发展，光学薄膜的生产已逐步走向系列化、程序化和专业化，但是，在光学薄膜的研究中还有不少问题有待进一步解决，光学薄膜现有的水平在不少工作中还不能满足要求，需要提高。在理论上，不但薄膜的生长机理需要搞清，而且薄膜的光学理论，特别是应用于极短波段的光学理论也有待进一步完善和改进。在工艺上，人们还缺乏有效的手段实现对薄膜淀积参量的精确控制，这样，薄膜的生长就 具有一定程度的随机性，薄膜的光学常数、薄膜的厚度以及薄膜的性能也就具有一定程度的不稳定性和盲目性，这一切都限制了光学薄膜质量的提高。就光学薄膜本身来说，除了光学性能需要提高，吸收、散射等光损耗需要减少之外，它的机械强度、化学稳定性和物理性质都需要进一步改进。在激光系统中，光学薄膜的抗激光强度较低，这是光学薄膜研究中最重要的问题之一。 2镀膜技术 随着增透膜的不断开发和研究，光学增透膜的镀膜技术也在不断的发展。光学增透膜的厚度要控制在可见光波长1/4波长的数量级上，增透膜的均匀度的要求也非常的苛刻。尽管如此,在人们的不懈探索中，还是掌握了不少行之有效、