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离子束去除加工原理探讨 《电加工与模具)2001年第1期设计?研究 离子束去除Jj~-r原理探讨 广东工业大学赵葛霄李扬郑莹娜 摘要从离子束溅射的微观力效应出发,介绍了离子束击除加工的原理,分析了影响加工效率的因 素,井对加工装置的结构l厦工作原理进行了探讨. AbstractBasedonthesplashingmechanicsmicroeffect,thispaperintroducedtheprincipleofionbeam removalmachining.Itanalysedtheinfluencedfactorsofproductionefficiency,studiedthestructureandworking principleofthedeviceofionbeamrel~ovalmachining 关键词离子柬溅射去除加工 1前言 离子柬加工是在真空条件下,将氩(Ax),氪 (Kr),氙(Xe)等惰性气体通过离子源产生离子柬, 经加速,集柬,聚焦后,射到被加工表面上以实现各 种加工的方法.根据所利用的物理效应和达到的目 的,可分为离子柬溅射去除加工,离子柬溅射镀膜加 工,离子柬注入加工和离子柬曝光等几种.其特点 可归纳如下: (1)加工精度和表面质量高.离子柬轰击材料 是逐层去除原子或分子,离子柬流密度及离子能量 可以精确控制,其an:i:精度可达纳米级(0.001/xm). 由于加工时被/in:I:表面层不产生热量,不引起机械 应力和损伤,故加工质量高. (2)加工材料广泛.由于离子柬加工原理是力 收稿日期:2000—08一盯 运动速度加快,造成对线电极表面的轰击加重,电极 损耗增大.如果电流上升率选择偏小,能量不够大, 击穿极问绝缘的时问就会延长,an:i:效率明显下降. 由于火花间隙击穿时问不同,实际上脉冲电流 的宽度是变化的.因为脉冲电流的宽度决定加工工 艺指标,所以,有效地控制脉冲波形,使火花间隙击 穿后脉冲电流宽度相等,即每个加工脉冲的能量相 等,切割速度,表面粗糙度和电极丝损耗等加工工艺 指标将进一步改善. 5结论 有效地控制脉冲电源的脉冲波形前后沿,电火 一 26一 效应,故对臆性,半导体,高分子等材料都可加工. 且an:i:在真空下进行,故也适用于加工易氧化的金 属,合金等材料. (3)加工方法丰富离子柬加工可进行去除, 镀膜,注入,曝光等多种加工方法. (4)控制性能好,易于实现自动化. 离子束加工被认为是最有前途的超精密加工和 微细加工方法,是当代纳米加工技术的基础L1J.目 前,离子柬加工尚处于不断发展中.本文从离子柬 溅射的力学原理出发,对离子柬溅射去除加工的有 关问题进行了研究. 2离子柬溅射去除加工的力效应 原子是由原子核和绕核运动的电子组成.原子 电离后成为离子,失去外层电子的原子变成带正电 的阳离子,获得电子的原子变成带负电的阴离子. 与电子柬加工相比,由于离子的质量远远大于电子 ～～…¨.0●一.……■●…一………●●…一…0～…一0 花线切割加工在损耗,稳定性,加工速度和精度等方 面将获得良好的综合效果. 参考文献 1州晋春.陆纪培.特种加工吉林:吉林人民出版社.1981 2韩烈恩邢嶷峰等.高速走丝线切割机多扶切害I放电啦形的检 测和分析.电加工,1998(6) 3杨建国.电火花线切窨I加工脉冲电源介绍电加工.1997(1) 4伍傻.李明辉.电火花线切割加工参散优化技术与实现.电子工 艺技术,2∞0(3】 5朱小中刘正埙曹锦昌电火花加工微纽孔赦能电振的研制 电加工.1993(2) 6胡建华.汪炜等模糊控制技术在电火花成形加工过程中的应 用.电加工与模具.20∞(1) 设计?研究lt;电加工与模具)2o01年第1期 (如氩离子的质量是电子质量的7.2万倍),因此离 子束比电子束具有更大的撞击动能例如氲离子加 速后其动能可达10keV量级.所以离子束加工是靠 微观的机械撞击能量,而不是靠动能转化为热能来 加工的. 质量大,动能高的离子冲击工件表面时,产生弹 性碰撞并将能量传递给工件材料的原子,分子,其中 一 部分能量使原子,分子产生溅射,被抛出工件表 面,称为离子束溅射现象,其余能量将转变为材料晶 格的振动. 离子束溅射中离子碰撞的过程可用图l所示模 型来说明,有以下几种情况: (1)一次溅射:由离子直接碰撞使工件表面层 材料中的原(分)子分离出来; (2)二次溅射:由离子碰撞材料中的原(分)子. 这个原(分)子又去碰撞别的原(分)子.而使后来被 撞的原(分)子分离出工件表面; (3)排斥溅射:有些离子在碰撞原(分)子时.自 己反弹出工件表面.成为被排斥的离子.这种情况 下没有溅射去除作用; (4)回弹溅射:有些受到离子碰撞的原(分)子, 又去碰撞别的原(分)子.而