碳基传感材料及其在称重测力传感器上的应用展望.PDFVIP

碳基传感材料及其在称重测力传感器上的应用展望 汤建华 徐修祝 江苏大学机械工程学院 [摘 要]新型称重传感技术融合了新材料、微机电、微纳米等前沿学科，是精准农业、智慧物流， 智慧零售等物联网应用的技术关键。智能化、微型化、平面化、低成本、高灵敏度、高可靠性是新 型称重传感器件的发展趋势和主要研究方向。碳材料具有极其优异的力学、电学特性，在称重测力 传感器件方面具有重要应用前景。近年来，碳基传感材料与传感器件的研究方兴未艾，为称重测力 传感技术的深入开发与应用带来了新的机遇。本文主要简述了碳基传感材料及其在力传感器方面的 研究与应用，讨论了以石墨烯、碳纳米管等碳材料为基础的传感器件结构原理和制造方法的相关进展。 [关键词]称重传感器；力传感器；石墨烯；碳纳米管；碳材料 0. 引言 近年来，随着物联网的快速发展，称重传感器的应用领域也在不断扩展。不断创新的行业模式 为称重传感器技术的提升提出了很多新的挑战。目前，称重传感器的技术局限主要集中于提高传感 器的稳定性、抗干扰以及耐腐蚀等性能，以及实现传感器的微型化和平面化等。在过去二十年中， 基于金属箔式应变片的称重传感器被广泛应用于各个行业中，且已经取得了令人瞩目的进展。但是， 受制于金属应变片的自身特性（低灵敏度、低过载能力、易腐蚀等），决定了它们无法满足日益严 苛的行业需求。 材料科学的进步，使人们可以设计和利用各种功能材料制造性能优异的传感器 [1]。在众多新材 料中，碳材料具有优异的高温稳定性、抗腐蚀、抗干扰等特性，因此，碳基传感材料也越来越受到 大家的关注。特别是近年来科研界热捧的石墨烯材料和碳纳米管材料，由于具有显著的力学、电学 和热性能，虽然仅被发现了不足三十年（石墨烯 2004 年，碳纳米管 1991 年），但已经出现了多个 方向的传感技术应用，有效解决了传统传感材料的诸多问题。本文将主要介绍几种常见的碳基传感 新材料，并从新原理、新工艺等方面介绍了一些新型传感材料在力传感器方面的主要研究进展，希 望能够对新型称重传感技术的应用和未来发展为同行提供参考。 1. 石墨烯（Graphene）材料与传感器件 2004 年曼彻斯特大学 Novoselov K.S. 和 Geim A.K. 采用胶带从高定向石墨中剥离出石墨烯，开 启了世界范围内石墨烯研究的里程 [2]。与传统体材料相比，石墨烯的独特之处在于它是由一层碳原 子排列形成的稳定而连续的二维平面结构。同时，石墨烯按照一定手性卷起可形成一维的碳纳米管， 石墨烯多层堆叠则可以形成石墨（如图 1 所示）[3]。石墨烯材料具有高的载流子迁移率、电导率、热 导率、力学强度等优异性能，在新型传感器件领域具有很好的发展潜力 [4]。石墨烯优异的力学性能 与其碳原子之间的化学键和电子结构具有紧密联系。由于所有碳原子被束缚在同一个平面内，使其 具有超高的强度、刚度和韧性以及作为二维材料带来的独特变形机制。同时，石墨烯材料的高迁移 率意味着只要施加较小的应力也可以使材料电阻发生急剧的变化。 图 1 石墨烯是构成富勒烯（左）、碳纳米管（中）和石墨（右）的基础材料 [3] 2010 年 Lee Y. 等人 [5] 首先报道了基于 CVD 法制备石墨烯的应力传感器，其压阻灵敏系数为 6.1。 Zhang 课题组 [6] 提出了一种石墨烯波纹结构应力传感器，使应力测量范围超过 30%，设计了一种基 于隧穿效应的纳米石墨烯薄膜应力传感器，使灵敏系数提高到 500 以上，其弯曲与拉伸过程中的重 复电阻特性证明石墨烯可应用于高性能应力传感器。Yu 等人 [7] 研究了单层石墨烯应力传感器的可靠 性问题，结果表明单层石墨烯只要在拉伸率低于 4.5% 范围以内都是可以恢复的。上述几种石墨烯传 感器的工作原理主要是利用其压阻特性。 Dolleman 等人 [8] 提出一种谐振式石墨烯薄膜压力传感器。基于多层石墨烯薄膜被挤压时内部环 境气体发生变化而使薄膜的共振频率改变，当薄膜共振频率在 4MHz、8 ～ 1000mbar（1mbar=102Pa） 时可以准确测量压力。该传感器没有迟滞性，且重复性好。J.Ma 等人 [9] 提出了一种高灵敏度光纤石 墨烯压力传感器，该传感器的制造是通过熔融石英毛细管到单模光纤的末端，在内部施加气压后毛 细管逐渐变细，然后熔融毛细管形成气腔。石墨烯薄膜覆盖在圆柱形空腔上，不但可以检测外部压 力变化，而且可以对空腔起密封作用。该传感器温度敏感性低，并具有应用于恶劣环境的潜力，但 是上述两类传感器的