薄膜相关知识及应用.pptx

薄膜概况及其应用;Outline;相关参考书; 在材料科学的各分支中，薄膜材料科学发展的地位极为重要。 薄膜材料是采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质层。 薄膜材料往往具有特殊的材料性能或性能组合。 ;薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因： (1)现代科学技术的发展，特别是微电子技术的发展，过去需要众多材料组合才能实现的功能，现在仅仅需要少数几个器件或一块集成电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件和系统微型化的最有效的技术手段。 ;薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因： (2)器件的微小型化不仅可以保持器件原有的功能并使之更加强化，而且随着器件的尺寸减小并接近了电子或其他粒子量子化运动的微观尺度，薄膜材料或其器件将显示出许多全新的物理现象。薄膜技术作为器件微型化的关键技术，是制备这类具有新型功能器件的有效手段。 ;薄膜材料科学成为材料科学中发展最迅速分支的原因： (3) 薄膜技术作为材料制备的有效手段，可以将各种不同材料灵活地复合在一起，构成具有优异特性的复杂材料体系，发挥每种材料各自的优势，避免单一材料的局限性．薄膜材料学在科学技术以及国民经济的各个领域发挥着越来越大的作用。 ;按材料内部原子排列情况分类;从材料尺度角度分类;薄膜的尺寸效应;;薄膜分类（按功能及其应用领域）： ⑴?电学薄膜 ①?半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料 Al、Cr、Pt、Au、多晶硅、硅化物薄膜； SiO2、Si3N4、Ta2O5、SiOF薄膜。;②?超导薄膜 YbaCuO系高温超导薄膜； BiSrCaCuO系高温超导薄膜； TiBaCuO系高温超导薄膜。;③?光电子器件中使用的功能薄膜 GaAs/GaAlAs、HgTe/CdTe、a-Si：H、A-SiGe：H、a-SiC：H、a-SiN：H、a-Si/a-SiC等一系列晶态与非晶态超晶格薄膜。;④??薄膜敏感元件与固态传感器 薄膜可燃气体传感器、薄膜氧敏传感器、薄膜应变电阻与压力传感器、薄膜热敏电阻和薄膜离子敏传感器等。;;⑤薄膜电阻、薄膜电容、薄膜阻容网络与混合集成电路 ;Copper-indium-diselenide (CuInSe2, or CIS) Thin-film material with efficiency of up to 17%. The material is promising, yet not widely used due to production specific procedures. ;⑦? 平板显示器件 液晶显示、等离子体显示和电致发光显示三大类平板显示器件所用的透明导电电极（ITO薄膜）。 电致发光多层薄膜（包括ITO膜，ZnS：Mn等发光膜，Al电极膜等）组成的全固态平板显示器件及OLED显示器件。;⑧? 用ZnO、AlN等薄膜制成的声表面波滤波器。 ⑨? 磁记录薄膜与薄膜磁头 高质量和录象的磁性材料薄膜录音带与录象带； 计算机数据存储的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜软盘和 硬盘； 垂直磁记录中FeSiAl薄膜磁头等。 ⑩?静电复印鼓用Se-Te、SeTeAs合金薄膜及非晶硅薄膜。;铁电存储器;;刀具表面氮化物、氧化物、碳化物镀膜;表面分析技术 ;一般地说，它是利用一种探测束——如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，有时还加上电场、磁场、热等的作用，来探测材料的形貌、化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。 ;探测粒子 ;探测粒子 ;探测粒子 ;探测粒子 ;部分表面分析设备的分析范围 ;;真空技术原理;真空单位 Atmospheres (atm): Scale relative to our atmospheric pressure as 1 atm Pascal (Pa): SI unit equal to N/m2 mBar: Equal to 1x10-8 Pa. Torr or mmHg: Most commonly used pressure unit, based on mercury vacuum gauges.;真空的划分;真空的意义 ;真空的意义 ;Degree of Vacuum;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;真空的获得 ;Materials to be Avoided (high vapor pressures) Zn, Cd