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纳米电子学 袁哲俊 哈尔滨工业大学 2005年4月 纳米电子学 微电子技术今后发展将受到的限制 量子电子器件 纳米电子器件的发展 单电子晶体管 ,单电子存储器 ,逻辑电路 分子电子学和分子电器件 原子电器件 纳米电器件的集成和量子计算机 微电子技术过去30年的发展 微米电子学的发展 莫尔定律－ 芯片的晶体管数与年代的关系 芯片生产设备的投资与年代的关系 不同年代的芯片集成度和价格 功能电器件的尺度范围分界 微电子晶体管和单电子晶体管 纳米电子器件的发展途径构想 量子电器件的主要特征 1)电子的平均自由程和器件的物理长度 2)量子比特 qubit 3)量子电导和量子电阻 量子电器件的主要特征 量子基础电元件 单电子晶体管 单电子晶体管的中心岛大小 对出现库仑阻赛现象的示意图 纳米单电子晶体管实例 纳米单电子晶体管实例 单电子晶体管的实测特性曲线 纳米尺度的单电子存储器 纳米尺度的单电子存储器 C60中心岛的单电子晶体管基型 碳纳米管中心岛的单电子晶体管基型 横向碳纳米管晶体管 碳纳米管晶体管特性曲线 IBM公司的碳纳米管分子逻辑电路 倒T形碳纳米管结构的分子三极管 细碳纳米管Φ0.33 nm(4,0) , 粗碳纳米管Φ1.5 nm (11,11) 分子继电器模型示意图 Xe原子开关的工作原理 原子继电器模型 薄膜“T”形在存储元件结构示意图 薄膜“T”存储器等效电路 纳米芯片 量子计算机 * * 1.1971年英特尔公司的4004芯片，时钟速度仅为108kHz，内含晶体管2300个，最小线宽为100μm ； 2.1999年英特公司的Pentium 3 芯片（奔腾3芯片）， 时钟速度已经高达1GHz，在面积为217mm2的芯片内,有晶体管2800万个，最小线宽为0.18μm。 3.最近2001年3月英特尔公司推出的Pentium 4电脑的 时 钟速度已高达1.7GHz，最小线宽0.13μm,在面积为 116mm2的芯片内,晶体管数超过4200万个。片速度和集成度提高了13000倍，线宽从1971年的10 4.计划十年内时钟速度达到10 GHz，30年来计算机芯片速度和集成度提高了13000倍，线宽从1971年的100μm缩小到现在的0.13μm，芯片上的晶体管已达到660万个/cm2。 4)库仑阻塞效应 5)量子隧穿效应 6)信号载流子中的孤子 7)电导涨落 1)0维量子点(ODQD) 2)一维量子线(1DQW) 3)二维电子气(2DEG) 也称二维量子阱 4)纳米单电子晶体管(single electron transistor, SET)； 5)量子阱共振隧穿二极管 )； 6)纵向库仑堵塞结构； 7)纳米单电子存储器， 8)分子级单电子逻辑电路等
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