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3ω法测定微纳米材料热物性 张洁娜 S随着手机、电脑等电子产品的微型化，薄膜和纤维等微米、纳米材料的合成、微加工和微分析的发展逐渐受到广泛关注。其中，对微尺度材料热物性的测定是所有相关研究的重要部分。 当热载子(电子、声子、光子)的各种特征尺寸变得可以相互比拟，或者与器件的特征尺寸相当时，反应物质能量输运规律的物性参数如热导率、比热等会体现出明显的尺度效应和表面效应，如会出现声子——边界散射作用等。这就使得纳米材料与其块体材料在热导率、热扩散率和热容方面存在很大差异。因此，准确地测定微尺度材料的热物性不管是对于微电子器件的热管理和热设计，还是对于纳米材料热输运原理的研究都有很大的作用。 目前，纳米薄膜导热系数的测量方法有很多种，如Parker的闪光法，Hatta等人的交流量热法，Okuda等的微桥法，热波法，光声法，Kading等人的光热反射法等等。上述方法一般不能直接测试热导率而是直接测量热扩散系数,然后导出热导率,测量结果的准确度与热容的不确定性等有关系。此外,上述方法对于基体表面薄膜热参数的测量限制比较大,对纳米薄膜以及碳纤维(CF)和CNT的热性能表征无能为力。 3ω法是在待测材料表面制备一定尺度和形状的金属膜,同时把该金属膜作为加热器和温度传感器,然后根据热波频率与温度变化的关系求得待测材料的导热系数。其测量原理如下图所示： 对图1中金属膜接线端1和4通频率为ω 的交流电，该金属膜将以2ω 的频率加热样品。因为金属的电阻率随温度的升高而增大，因此金属膜的温度变化将带来金属膜阻值的变化，该阻值与金属膜的温度以2ω的频率变化，频率为2ω的变化阻值与频率为ω的电流共同作用产生频率为3ω的电压。该3ω 的电压信号只与金属膜的温度变化有关，通过金属膜的2和3端，用锁相放大器将该信号提取出来，通过建立合适的传热模型，解传热方程可以得到该金属膜的温度变化。 1910年，Corbin提到用交流电流在材料中产生的两种频率的电压能对材料的一些物理量进行测量,但是由于由电阻振荡产生的交流电压很微弱,一直难于测量。1966年，Holland[1]对丝状材料内部交流加热产生的温度波动进行了理论分析,指出可以通过测量加热丝两端的三次谐波电压确定丝状试样的热参数。1968年，Sulllvan[2]的理论和实验结果说明可以采用交流加热产生的2ω温度波动信号测量物体的热容,1986年Birge采用此原理测量了玻璃融体的比热。1987年，Birge[3]又采用沉积在容器底部的金属加热膜在0.01一3000Hz范围内测量了有机液体随加热频率变化的比热。在这一实验过程中，他采用增大测试频率的方法减小了对流作用对测试结果的影响。 1989年Cahill[4]首次系统地提出3ω 法测试体材料和厚膜的导热系数。从理论和实验两个方面论证了3ω 的可行性以及3ω 的使用条件，并阐述了黑体辐射所引起的误差可以忽略（＜2％，1000Ｋ）。由图2可知，利用频率与温度振幅变化的关系所得到的斜率与材料的热导率相对应。Cahill提出的3ω 法需要较复杂的数学处理，数学模型的建立、边界条件的确定、加热频率的选择及数学方程求解中的有效简化，都导致了Cahill提出的3ω 法主要应用在各向同性，且薄膜的热导率远远低于基底，需要对薄膜－基底和基底分别测试一次，然后求解。 图2 频率与温度变化的关系 1994年，Lee[5]通过实验发现，金属膜的热容、长度和宽度等自身因素以及金属膜和测试材料之间的接触热阻等会影响测量时采用的频率范围,使得实际能够采用的交流频率范围减小,根据能量平衡方程得到了实际可行的频率范围。他测试了洁净单晶体KDP和TGS的导热系数和热容。同年，在提出3ω 法应用于体材料和厚膜的热导率测试后Cahill等[6]又将其应用于10ｎｍ 薄膜材料的法向热导率的测量。随后许多科研者对3ω 法在薄膜材料热导率的测量方面进行了大量研究，使其在薄膜材料的测试上应用更为广泛，测试样品的制作与测试方法和Cahill首次提出的相似。 1999年，Talor[7]把3ω法推荐为测试微孔热障涂层的三种有效方法(其他两种为闪光法和光热偏转法)之一。目前,该方法在CNT等丝状材料，纳米孔隙新型材料或涂层、激光晶体KDP、微纳米尺度薄膜、温度测量和液体的热性能表征等方面逐渐得到应用。Ju[8]认为频率比较小时加热膜的温度波动由薄膜和衬底的温升两部分组成:高频区域内,温度波动与衬底的作用可以忽略,只与膜的热容和材料导热系数有关。利用低频区域测试的薄膜导热系数,把高频区域的测试结果与热扩散方程的解对比可以确定薄膜的热容。 2000年，。Tasciuc[9]采用宽度分别为2μm和30μm的