化学化工——元素和分子分析-staffustceducn.ppt

UPS主要用于提供: 清洁表面或有化学吸附物的表面的电子结构； 参与表面化学键的金属电子和分子轨道的组合等信息； 有关电子激发和电荷转移的信息; 用于确定材料的功函数及费米能级的位置。 广泛用于研究分子结构、构象分析、互变异构等，还可用于吸附、催化、腐蚀以及微电子学的研究工作中。 UPS可提供的信息 1.1.3、应用领域 由于电子能谱中包含着样品有关表面电子结构的重要信息，用它可直接研究表面及体相的元素组成、电子组态和分子结构。 电子能谱可进行表面元素的定性和定量分析，元素组成的选区和微区分析，非均相样品中元素组成的表面分布分析和深度剖析，原子和分子的价带结构分析，在某些情况下还可对元素的化学状态、分子结构等进行研究。 是一种用途广泛的现代分析实验技术和表面分析的有力工具，广泛应用于科学研究和工程技术的诸多领域中。 应用领域 材料物理学——键结构、表面电子态、固体的能带结构、合金的构成与分凝、粘附(adhesion)、迁移(migration)与扩散； 化学化工——元素和分子分析、化学键、分子结构分析、氧化还原、光化学； 催化科学——元素组成、活性、表面化学反应、催化剂中毒； 腐蚀科学——吸附、分凝、气体—表面反应、氧化、钝化； 材料科学——电子能谱是研究各种镀层、涂层和表面处理层(钝化层、保护层等)的最有效手段，广泛应用于金属、高分子等材料的表面处理、金属或聚合物的淀积、防腐蚀、抗磨、断裂等方面的分析。 微电子技术——电子能谱可对材料和工艺过程进行有效的质量控制和分析，注入和扩散分析，因为表面和界面的性质对器件性能有很大影响。 薄膜研究——如光学膜、磁性膜、超导膜、钝化膜、太阳能电池薄膜等。层间扩散，离子注入。 应用XPS的工业 ?粘合Adhesion、农业Agriculture、汽车制造Automotive、电池Battery、生物材料Biomaterials、生物医学Biomedical、生物技术Biotechnology、罐装食品Canning、催化剂Catalyst、陶瓷Ceramic、化学制品Chemical、计算机Computer、化妆品Cosmetics、电子工业Electronics、能源Energy、环境Environmental、纤维织物Fabrics、食品Food、燃料电池Fuel cells、地质Geology、玻璃Glass、激光Laser、照明Lighting、润滑Lubrication、磁存储Magnetic storage、矿物学Mineralogy、采矿Mining、纳米技术Nanotechnology、核能Nuclear、包装Packaging、绘画Painting、纸张和木材Paper and wood、电镀Plating、聚合物与塑料Polymer and plastic、印刷Printing、记录Recording、半导体Semiconductor、钢铁Steel、纺织Textiles、薄膜涂层Thin-film coating、焊接Welding XPS的典型应用 分子取向 自组装分子单层构造取向，浓度，厚度，覆盖度问题 变色表面的分析 逆向工程 表面改性 工艺过程监测 摩擦学 粘合；粘附 催化；催化作用 界面构造 表面清洁度 腐蚀/氧化 表面偏析 薄膜扩散 薄膜化学计量与层厚测算 1.2、电子能谱的表面灵敏性 一般来讲，分析方法的表面灵敏度依赖于所检测的辐射。表面分析技术以电子能谱为中心，作为信息载体的特征电子从被电子束或X射线照射的样品中发射出，然后到达能量分析器和检测器进行分析测量。 在电子能谱中，尽管轰击表面的X射线光子或高能电子可透入固体很深(~1?m)，但由于电子在固体中的非弹性散射截面很大，只有小部分特征电子保持原有特征能量而逸出表面。可被检测的无能量损失的出射电子仅来自于表面的1~10 nm。在固体较深处产生的电子也可能逸出，但在其逸出的路径中会与其它原子碰撞而损失能量，因而它们对分析是无用的。电子能谱的表面灵敏性是在固体中输运而没有被散射的短距电子的结果。 表面灵敏性 表1-1 不同粒子透入固体樣品的深度 实验表明电子在固体中非弹性散射截面很大，其非弹性平均自由程（具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离）很短。因此只有在极浅表层中的小部分电子保持原有特征能量而逸出表面。 粒子類型 能 量 透入深度 光子 1,000 eV 1,000 nm 電子 1,000 eV 2 nm 離子 1,000 eV 1 nm 1.2.1、非弹性平均自由程 对于电子在物质中的输运，用不同的术语定义表面灵敏度。 IMFP(λ) — 非弹性平均自由程。具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单