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COG机台调校操作指导书
机台名称
COG制程生产机台
目的
维持生产产品品质
调校项目
平行度,温度
标准(spec)
适用范围
COG制程生产机台
使用工具
感压纸,素玻璃,内六角板手,铁氟龙,温度测量器
调校频率
不同项目分别订定
调校工时
不同项目分别订定
一.调校前之作业及检查(项目:本压着ACTUAL BOND HEAD与支撑平台之平行度)
程序(Steps)
品质与安全注意事项
(Quality and Safety Issues)
ACTUAL BOND HEAD及支撑平台之温度
注意高温烫手
ACTUAL BOND HEAD温度:200℃
支撑平台温度(BACK UP):室温
2.准备感压纸(型号不限)
感压纸:双层
使用时先将感压纸之粗糙面相对
3.准备素玻璃(型号不限)
1.使用前需先用无尘布沾酒精将单片玻璃表面清洁干净
二.调校操作程序(项目:本压着ACTUAL BOND HEAD与支撑平台之平行度)
程序(Steps)
品质与安全注意事项
(Quality and Safety Issues)
调校频率:每周
调校工时:30分钟
开机作业(操作面板附图列于附件中)
1.按“ACTUAL BOND UNIT”之加热器激活按钮(‘37’方形),并立即修改温度控制器‘38’之温度,由290℃降至200℃
1.温度修改方式:“《”此符号之按钮朝上者,表示温度向上修订;反之表示温度向下修订
2. “ACTUAL BOND UNIT”压力值设定为7 kgf/cm2左右
3.使用感压纸及单片玻璃,进行本压头与支撑平台之平行度测试,摆设方式如右图,步骤如后述
双层感压纸
本压头 单片玻璃
支撑平台 LCD TABLE
4.按“MANUAL”(‘9’方形)?于触控屏幕中选取“ACTUAL BOND”?进入“SOLENOID VALVE”模式中
5.按“LCD TABLE BACK FORTH”,使LCD TABLE前进
6.按“LCD TABLE UP DOWN”,使LCD TABLE下降
7.感压纸及单片玻璃放置完成后,按“ACTUAL BOND UP DOWN”,使本压头下降约3~5秒,再按“ACTUAL BOND UP DOWN” 使本压头上升
1. 感压纸叠放次序为(上: 透明﹐下: 白色)
8.检视下层白色感压纸上之压痕(红色)显示是否均匀,若发现轮廓内有局部之红色显示特别明显时,可依不同状况做处理:
1. 若存在感压纸颜色较浅(深)之一端,表示其相对B/U位置较高(低)
2. 若左右方向(X向)压力不均,则调较左右方向之微调器; 若前后方向(Y向)压力不均,则调较前后方向之微调器;
3. 重复“项次2~7”之方式,测试平行度直至感压纸X﹒Y向颜色均匀
9.确认平行度OK后,按“ORIGIN” (‘17’方形),原点回复
OK
10.每班首件检查后,有突发品质异常,为确认本压头平行度急需调校作业时,程序如下
导电粒子变形比例(X.Y方向)严重失调
11.按下“ACTUAL BOND UNIT”之加热器激活按钮(‘37’方形), 使温度下降(灯灭表示OFF)
1. ACTUAL BOND温度降至200℃以下时即可调校
12.依照“项次1~8”之方式,完成水平调试
使本压头压着时间缩短至1~3秒,避免感压纸遭高温破坏,影响测试效果
13.依照“项次10”之方式,将温度控制器‘38’之温度升至290℃
1.测完平行度后,温度之修改须立即执行,不可遗漏?290℃
三.调校前之作业及检查(项目: ACF贴付头与支撑平台之平行度)
程序(Steps)
品质与安全注意事项
(Quality and Safety Issues)
1.ACF ATTACH 及支撑平台之温度
ACF ATTACH/支撑平台温度:室温
2.准备感压纸(型号不限)
感压纸:双层
使用时先将感压纸之粗糙面相对
3.准备素玻璃(型号不限)
1.使用前需先用无尘布沾酒精将单片玻璃表面清洁干净
4.准备另一ACF 贴付头(相同型号)
1. 0.23厚铁氟龙平整的﹑完全的粘贴于ACF贴付头下方﹐用刀刃修裁至二者吻合
四.调校操作程序(项目:ACF贴付头与支撑平台之平行度)
程序(Steps)
品质与安全注意事项
(Quality and Safety Issues)
调校频率:每周
调校工时: 30分钟
开机作业(操作面板附图列于附件中)
1. “ACF ATTACH”压力值设定为7 kgf/cm2左右
2.使用感压纸及单片玻璃,进行本压头与支撑平台之平行度测试,摆放方式如右图,步骤如后述
双层感压纸
ACF压着头 单片玻璃
B/
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