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二次印刷培训计划资料 Alpha-AE Jannick Xu May. 17 目录 1. 二次印刷简介 2. Auto offset 具体步骤 3. 印刷基准点模式的调试 4. Offset常见问题解决 5. 对位调试 6. 总结 2 二次印刷简介 3 Auto offset 4 Auto offset （一） 首先，选择5-Vision 中的 51→Alignment，如右图所示取消界面 取消此 处对勾 上侧Substrate项里的Upper light （上光 源）前的对勾，选择Alignment type （对位类型）为Center （edge ）（中 心边缘），即为单次印刷模式。 确保此处对勾 然后，使用位置模式印刷Dummy 一定要点上的 片，看Delta Squeegee 和图形偏移， 调整印刷参数及X 、Y 、T ，使Delta Squeegee保持在100~200之间，印刷 图形在wafer 中央。 5 Auto offset （二） 打开21-Cycle菜单，勾选Enable Automatic offset，点击Confirm，此时弹出对话框“是否 清除印刷偏移量”，点击”NO” ，此时Table转动准备上片。擦拭网版后，连续放4片镀膜均匀未 经印刷的片子,每个印台对应一片。印刷后每个印台的电池片会再次转至相机下方，自动拍照校 准。在屏幕上出现“SETUP Automatic Offset Setup has been completed successfully” 的对话 框如图下图所示，说明自动校准成功。 点上此处对勾 后便开始运行 Auto Offset 6 Auto offset （三） 选择5-Vision 中的 点上此 处对勾 51→Alignment （定位）， 如下图所示打上界面上侧 Substrate项里的Upper light前的对勾，选择 Alignment type为 Fiducials （基准点），之 后便可正常走片。（做完 Auto Offset后21-Cycle菜 单里Enable Automatic Offset前的对勾会自动消 失） 7 基准点调试 8 基准点调试（一） 选择5-Vision 中的53-Vision Menu项， 打开Vision menu界面，如图右图所示,在 Vision menu （视觉菜单）的Define search （定义搜索）里选择要校准的相机 （例如：32号）,点击”Properties”(性能） 后进入下一界面. 点击进入