电镜技术-第2次课.pptVIP

三.电路系统 组成：小电流高压电源：加速电子和加热灯丝 大电流低压电源：供磁电子透镜聚焦和成像 要求：这两种电源必须非常稳定，要经过二级稳压 高压电源达2?10-５／min数量级 低压电源达1?1０-６／min数量级 这是因为任何极微小的波动．都会改变电子束的波长，从而彰响成像质量和降低分辨率。 另外供电系统还包括偏转线圈和消像散线圈电源， 这两种用一级稳定电路即可。 为防止启动机械泵或开关照明灯时引起高压电沉 和透镜电流波动，因而影响电源的稳定度，需将 机械泵和开关照明电路接在安全电路的后面和总 稳压器的前面。 总电源稳压器可把电流波动初步稳定在±2％，为 进一步稳压打下基础。 第二章 透射电子显微镜 (Transmission Electron Microscope TEM) 第一节　透射电子显微镜的基本构造 第二节　透射电镜的成像原理 第三节　透射电镜的性能与应用 第一节　透射电子显微镜的基本构造 电子光学系统 (镜筒) 真空系统 电路系统 Hitachi超高压透射电子显微镜 世界上第一台电子显微镜TEM 日立H-7600透射 电子显微镜 日立H-7500透射 电子显微镜 DXB2--12 philips CM200-FEG型 场发射透射电子显微镜 JEM—100型透射电镜 透射电镜的基本组成部分 照明系统 样品室 成像系统 观察记录系统 电子枪 聚光镜 物　镜 中间镜 投影镜 观察室 照相机构 真空泵 机械式旋转泵 油扩散泵 真空管道开关阀门 真空测量 小电流高压电源 大电流低压电源 电子光学系统（镜筒） 真空系统 电路系统 透射电镜结构简图 1. 高压电线 2. 电子枪室 3. 第一聚光镜 4. 第二聚光镜 5. 物镜光阑 6. 样品臂 7. 物镜 8. 第一中间镜 9. 第二中间镜 10. 投影镜 11. 观察窗 12. 观察室 13. 荧光板 14. 底片盒 一.电子光学系统 （一）照明系统 阴极（接负高压） 栅极 （比阴极负100~1000伏） 阳极 电子束 聚光镜 试样 电子枪 1.电子枪 要求： （１）有足够的发射强度，发射的电子束截面积小 （２）电子束的强度是可调的 （３）为了减少色差，要求加速电压有很高的稳定度 电子枪的组成 电子枪是电子光源的发射装置 阴极 由 栅极 组成 阳极 电子枪的类型 热发射 冷发射 场发射 １）阴极 阴极是钨丝（直径0.10~0.12mm）制成的极细小的V型灯丝，当通以几安培的电流加热到2227oC以上时，其尖端即发射出电子束，成为电镜的光源。 工作温度（oC） 寿命（小时） 2487 16 2527 12 2567 8 2627 5 影响灯丝寿命的因素有： （１）与工作温度 有密切关系 （２）与仪器的真空度有关 ２）栅极 栅极位于阴极和阳极之间 由一个中央有孔的圆金属筒构成 作用：控制电子发射的强度，并将阴极发射的电子 束挤压成直径小于10Oμm的束流，这个极微小 电子束的集合点 (又称交叉点)就是电镜的真 正光源 ３）阳极 阳极与阴极之间有极大的电位差，为接地电位 作用： 可对电子束产生巨大的加速作用 调节电子波长的作用，阳极的电压越高，电子波长 越短，电镜的分辨力就越高。 ２.聚光镜 聚光镜的作用 一般电镜装有两个聚光镜 会聚来自电子枪的电子束并以最小的能量损失投射 到样品上 控制照明束斑和孔径角的大小 第一聚光镜是短焦距强磁透镜，其作用是把光斑直 径聚集到1μm以下 第二聚光镜是长焦距弱磁透镜，其作用是把光斑直 径再稍放大到2.5μm左右，并使其正焦照到样品 的表面，再通过调节活动光阑来改善孔径角，以 减少电子束对样品的辐射损伤 （二）样品室 作用：稳定地承载样品和水平移动样品 类型：顶落式和侧插入式 顶落式的可以把物镜极靴的空隙做得非常狭窄，能 提高分辨力；且物镜极靴能侧开口，因而可以放倾 斜样品台 侧插入式操作简单，备有多种样品杆，如:倾斜的、 可加热的或可冷却的，以及旋转的等，以供不同需 求 　 为了在换样品时不至破坏整个镜筒的真空，样品室单设有气锁装置，使电镜观察时换样品简便易行。 气锁装置 （三）成像放大系统 电子枪 聚光镜 物镜 中间镜 投影镜 成像放大系统 照明系统 作用 是获得高分