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移相干涉测量术及其应用 2OO6,27(2)应用光学JournalofAppliedOptics 文章编号:1002—2082(2006)02—0085—04 移相干涉测量术及其应用 朱日宏,陈磊,王 (南京理工大学电子工程与光 青,高志山,何勇 电技术学院,南京210094) 摘要:为了对移相式数-5-干涉仪在光学元件测量中的应用有全面了解,介绍了移相干涉术的 基本原理.结合激光数-5-波面干涉仪,阐述移相干涉术的四,5-重叠平均算法,压电晶体移相器 (PZT)的结构,3PZT的组合方法,移相器的标定误差和非线性误差的校正方法,波面相位解包的 自适应种子算法,波面相位的评价指标等内容.结合移相数字波面干涉仪,叙述了移相干涉测量技 术在普通光学元件,红外光学元件,大口径光学元件,非球面光学元件等测量中的应用并指出了应 用过程中的注意事项.最后明确指出光干涉技术正沿着高相位分辨率,高空间分辨率,宽波段和瞬 态高速测量的方向发展,并将会在瞬态波前测量,微机械的微结构动态分析等方面有着越来越广 泛的应用. 关键词:移相干涉术;光学测量;干涉仪 中图分类号:0436.1文献标志码:A Phase—shiftinterferometryanditsapplication ZHURi—hong.CHENLei,WANGQing,GAOZhi—shan,HEYong (NanjingUniversityofScienceamp;Technology,Nanjing210094,China) Abstract:Inordertocomprehendtheapplicationofthephase—shiftdigitalinterferometryin measurementofoptica1components,thebasicprincipleofthephase—shiftinterferometry(PSI) isintroduced.Theoverlappingaveraging4-framealgorithm,theconfigurationofpiezoelectric transducer(PZT),thecombinationmethodforthreePZTs,thecorrectionmethodfor calibrationerrorandnonlinearerrorofphaseshifter,thewavesurfacephaseunwrapping adaptiveaIgorithm,andevaluatingspecificationofwave—surfacephasearedescribed.The applicationofthemodernopticalinterferometryinthemeasurementofcommonoptical elements,IRopticalelements,large—apertureopticalelementsandasphericopticalcomponents isintroducedaccordingtothedigitalphase—shiftwavesurfaceinterferometer?ItlSclearly Dointedoutthatthedevelopingtrendoftheopticalinterferometrymovestowardshighphase resolution,highspatialresolution,widewaverangeandhigh—speedtransientmeasurement,and itwillfindever—increasingapplicationsinthetransientwavefrontmeasurement,microtruct dynamicanalysisformicro—mechanicsandSOon. Kevw0rds:phase-shiftinterferometry;opticalmeasurement;interferometer 收稿日期:2006—02—06;修回日期:2006—02—09 作者简介:朱日宏(1964一),男,江苏大丰人,南京理工大学教授,博士生导师,主要从事光学测量,光学图像处理和光电检 测方面的研究.Email:zhurihong@vip.sina.corn ?86?应用光学2006,27(2)朱日宏,等:移相干涉测量术及其应用 引言 随着激光技术,光电探测技术,计算机技术,图 像处理技术和精密机械等技术的发展,近代光干涉 测量技术已得到长足发展.激光技术的发展,解决 了干涉的光源问题,从紫外到红外的不同波段都有 相应的激光光源,可研制