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硕士学位论文AIN／FeGaB磁电复合材料的制备 硕士学位论文 AIN／FeGaB磁电复合材料的制备 与性能研究 作 者：尹冠博 指导教师：徐锋副研究员 马云贵研究员 南京理工大学 2015年1月 Ms．D．DissertationResearch Ms．D．Dissertation Research on preparation and properties of AIN／FeGaB magnetoelectric composites 伽anbo砌 Supervised by P yoj．Feng Xu YunG如f Ma Nanj ing University of Science and Technology January,2015 声 声 明 本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本学 位论文中，除了加以标注和致谢的部分外，不包含其他人已经发表或公布 过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使用过的 材料。与我一同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文中作了明 确的说明。 研究生签名：型显遵 劭眸岁月莎日 学位论文使用授权声明 南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅或上 网公布本学位论文的部分或全部内容，可以向有关部门或机构送交并授权 其保存、借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容。对于保密论文， 按保密的有关规定和程序处理。 研究生签名：尹镭侉 劲陟年言月芩日 硕士学位论文 硕士学位论文 AlN／FeGaB磁电复合材料的制备与性能研究 摘 要 磁致伸缩材料与压电材料复合而成的磁电复合材料能够实现磁场．电场能量的双 向转换，具有显著的磁电耦合效应，在微波领域、高压输电线路的电流测量、宽波段 磁探测、磁电感应器及磁场信号等领域有着广泛而重要的应用前景。为了有效的利用 这种磁电效应制备出具有优良性能的磁电传感器，需要研究影响磁电耦合效应的因素。 磁电复合材料的磁电耦合效应大小很大程度上取决于其磁致伸缩材料和压电材料的性 能[11。本文选用A1N作为压电材料，FeGaB作为磁致伸缩材料，分别研究了实验工艺 条件对压电相和磁致伸缩相性能的影响。主要研究工作如下： 采用磁控溅射的方法制备了压电材料A1N薄膜，研究了溅射功率、气氛压强、氮 气和氩气的体积比、衬底温度和退火处理这五个工艺参数对薄膜性能的影响。经实验 研究发现当溅射功率为200 W、溅射气压为3．75 mT、氮气和氩气体积比为3：7、衬底 温度为300。C和在氮气氛围条件下进行500。C退火处理的时候，A1N薄膜沿C轴择优 生长，此时薄膜具有优良的压电性能。 采用磁控共溅射的方法制备了磁致伸缩材料FeGaB薄膜，通过控制B靶材的溅射 功率来控制薄膜中B的含量，研究了薄膜中不同的B含量对薄膜磁性能的影响。经实 验研究发现当B靶材的溅射功率为50 W的时候，薄膜的磁性能最佳。 对磁电传感器进行设计、讨论和理论研究，利用A1N／FeGaB磁电复合材料制备磁 电传感器，具有高的共振频率，说明其具有非常高的灵敏度，可以用来探测非常微弱 的磁场，有非常广阔的应用前景。 关键词：磁电复合材料， 磁电耦合效应，磁控溅射，磁电传感器 Abstract Abstract 硕士学位论文 Abstract Magnetoelectric composite materials are made up of magnetostrictive material and piezoelectric material，which can achieve a two—way of magnetic—electric energy conversion and show strong magnetic coupling effect．So magnetoelectric composite materials have extensive and important applications in microwave region，current measurement of high-voltage transmission line，magnetic detection in wide-band，magnetic s