TFT-LCD制造工艺说课材料.ppt

; Color Filter Fabrication Process TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly Process;C/F 的结构;C/F Process;;C/F Pixel Array;彩色濾光膜製造技術;黑紋製程;黑紋製程;黑紋製程;彩色層製程;彩色層製程;彩色層製程;G;彩色層製程;彩色層製程技術;Possible Defects On C/F;ITO透明导电层的作用;ARRAY制程;TFT Array組成材料(六道光罩);Mask 1:GE (Gate電極形成);Mask 2:SE (島狀半導體形成);Mask 3:PE (畫素電極形成);Mask 4:CH (Contact Hole形成);Mask 5:SD (Source及Drain電極形成);Mask 6:DC(保護層形成);TFT Array組成材料(五道光罩);Mask 1:GE (Gate電極形成);MASK 2 Island 形成;MASK 3 S/D 電極形成;MASK 4 SiN Depo. →挖 Contact Hole;MASK 5 Pixel 電極形成; Clean 工程 Process Monitor;CELL制程;液晶注入工程;製程流程;製程流程;CF Cleaning(彩色濾光片洗淨

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档