真空技术基础课件.pptVIP

真空技术基础;德莫.克利特 （约在公元前460-370年，大哲学家） 认为世界的本源应是由原子和虚无组成，且原子在虚无中做永恒的运动 ;十七世纪用抽水泵它来排除矿井中的积水，无法将水抽到10米以上的高度 ;;几个基本概念：;表1 几种压强单位的换算关系;;气体吸附：固体表面捕获气体分子的现象 物理吸附：没有选择性、主要靠分子之间的吸引力、容易发生脱附、一般只在低温下发生 化学吸附：在较高温度下发生、不容易脱附，只有气体和固体表面原子接触生成化合物才能产生吸附作用。 气体脱附：是吸???的逆过程。 影响因素:气体压强、固体温度、固体表面吸附的气体的密度和固体本身的性质（如表面光滑度、清洁度等）、以及电吸附、化学吸附作用的影响。;表1-2 几种常用真空泵的工作压强范围 ;说明： 由于不同泵种的工作压力范围不同，实际运用中为达一定的真空度，将两种或以上的真空泵组合起来形成真空泵机组。;; 旋片式机械泵通常由转子、定子、旋片等结构构成。偏心转子置于定子的圆柱形空腔内切位置上，空腔上连接进气管和出气阀门。转子中镶有两块旋片，旋片间用弹簧连接，使旋片紧压在定子空腔的内壁上。转子的转动是由马达带动的，定子置于油箱中，油起到密封、润滑与冷却的作用。;;工作原理： 当转子顺时针转动时，空气由被抽容器通过进气管被吸入，旋片随着转子的转动使与进气管相连的区域不断扩大，而气体就不断地被吸入。当转子达到一定位置时，另一旋片把被吸入气体的区域与被抽容器隔开，并将气体压缩，直到压强增大到可以顶开出气口的活塞阀门而被排出泵外，转子的不断转动使气体不断地从被抽容器中抽出。;附：干泵;;牵引分子泵 ;复合式分子泵;三、低温泵;两级制冷机冷头通过法兰直接插入到泵壳内。屏蔽板及入口障板与制冷机一级冷头相连，工作温度在70～80 K。屏蔽板除可以冷凝抽除水及二氧化碳等，主要是为低温抽气板提供隔热屏蔽。屏蔽板顶端或侧壁装有障板，向着低温板的一面涂（镀）黑，外面镀银抛光，用以降低二级冷头的热负荷。主抽气低温板用铟垫片连接到制冷机二级冷头上，外表面镀银抛光，内壁粘活性炭。低温板工作温度低于20 K（通常为14～15 K），能大量冷凝吸附除氢、氦、氖以外的其他常见气体。低温活性炭用以吸附氢、氦、氖等难凝气体。 极限真空度：10-1~10-8 Pa;附：罗茨泵;;泵的底部—是装有真空泵油的蒸发器，真空泵油经电炉加热沸腾后，产生一定的油蒸汽，蒸汽沿着蒸汽导流管传输到上部，经由三级伞形喷口向下喷出。喷口外面的压强较油蒸汽压低，于是便形成一股向出口方向运动的高速蒸汽流，使之具有很好的运载气体分子的能力。油分子与气体分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的结果是油分子把动量交给气体分子自己慢下来，而气体分子获得向下运动的动量后便迅速往下飞去．并且，在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，因而界面内气体分子浓度较小．由于这个浓度差，使被抽气体分得以源源不断地扩散进入蒸汽流而被逐级带至出口，并被前级泵抽走．慢下来的蒸汽流在向下运动的过程中碰到水冷的泵壁，油分子就被冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器继续循环使用．冷阱的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。;缺点：泵内油蒸汽的回流会直接造成真空系统的污染。 应用领域：真空镀膜、真空炉、电子、化工、航空、航天、冶金、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等领域。;加热钛靶蒸发生成钛膜，并与气体发生反应 工作范围 10-8-10-11 Torr 价格便宜，可靠;在阴阳两极之间加高压(~5 kV) 灯丝产生大量电子 气体分子被电离，并在电场作用下加速飞向阴极. 离子在阴极靶(钛) 上轰击出钛原子 溅射出来的钛和气体反应捕获气体 10-4 Torr to 10-11 Torr; 优点 无油，干净 没有可拆卸部分，无振动. 低能耗，使用寿命长 缺点 对稀有气体捕获效应不明显. 每隔4-6年 要重生钛. 应用 无油超高真空机组的主泵，高能粒子加速器、受控热核反应装置、电真空器件、半导体材料制备、电子显微镜、质谱仪等科学实验装置及其它需要超高真空工业设备中。 ;上节课内容回顾;压缩式真空计 H.G.麦克劳 1874年 ;电阻式真空计 1906年 M.皮喇尼;直接测量气体压力不易，利用测定低气压下与压强有关的某些物理量，再变换后确定压强。 任何具体的物理特性，都是在某一压强范围内最显著，任何方法都有测量范围，这个范围就是真空计的“量程” ;一、电阻真空计;工作过程：真空度↑→气体分子↓→Q↓分子从热丝上带走热量→热丝温度↑→热丝电阻R↑，可以归纳出R↑→真空度↑ ;;热量的传递不仅仅与压强有相互关系，同时与气体的摩尔量和分子结构有关系。 不同的气体会导致压力测量时得出不同的结果。 在一般情况下，当现有的气体的原子或者分子越大，热传导的能力或者效率越