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第十二章 X射线光电子能谱分析 X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS )是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。 第十二章 X射线光电子能谱分析 1. 发展概况 2. 基本原理 3. 设备结构 4. 实验方法 5. XPS谱图分析 6. XPS的应用 1. 发展概况 第十二章 X射线光电子能谱分析 1. 发展概况 2. 基本原理 3. 设备结构 4. 实验方法 5. XPS谱图分析 6. XPS的应用 光电效应 入射光子的能量大于原子中电子的结合能时，发生电离： 超过电离的阈值能量的光子能够引起电离过程，过量的能量将传给电子，以动能的形式出现。 虽然光电离过程也是一个电子跃迁过程，但它有别于一般电子的吸收和发射过程，它不需遵守一定的选择定则，任何轨道上的电子都可以被电离。 光电效应 光电发射定律 光电发射定律 对气态原子或分子： 对固体样品必须考虑晶体势场和表面势场对光电子的束缚作用以及样品导电特性所引起的附加项： ：把电子从所在能级移到