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半导体薄膜技术与物理 黄天捷 2009160244 1?真空概念和测量单位 （一） 真空概念 “真空，渥指在指定空间内低于环境人气压力的气体状态，也就是该空间内气体分了数密度低 于该地区大气压的气体分子数密度。不同的真空状态，就意味着该空间具有不同的分子数密 度。在标准状态（STP：即0°C, 101325Pa）下,气体的分子数密度为2.6870x1025m?3,而 在真空度为lxlO-4Pa时，气体的分子数密度只有2.65xl016m-3o 完全没有气休的空间状态成为绝对真空。绝对真空实际上时不存在的。 （二） 真空度及测量单位 在真空技术中常用真空度来度虽真空状态下空间气体的稀薄程度。通常真空度用气体的压力 值来表示。压力值越高，真空度越低；压力值越低，真空度越高。 常用的压力单位有： 帕斯卡（Pa）：国际单位制中的压力单位，我国法定压力单位。IPa压力就是lm2ffi积上 作用1N的力，即 lPa=lN/m2 微巴（|ibar）： lpbar的压力就是lcm2面积上作用ldyn的力，即 lpbar=ldyn/cm2 标准人气压（atm）： 1927年在第七次国际计量人会上，给标准人气压下了定义，即在重 力加速度为980.665cm/s2,水银温度为0°C,水银密度为13.5951g/cm3的条件下，760mm 高的汞柱产生的压力称为latm,即 1 atm=760mmH g= 1013250」44354dyn/cm2 这种标准大气压依赖于汞的密度测量精度，是不够严格的。 1954年在第十次国际计量大会上，又重新定义了标准大气压，即 1 atm= 1013250dyn/cm2= 101325Pa 工程大气压（at）：由于人气压力约为1 kgf/cm2,所以把1 kgf7cm2称为lat,即 Iat=lkgf7cm2 毫米汞柱（mmHg）： ImmHg是指0°C时1mm高水银柱（汞柱）作用在lcm2面积上的 力。由于纯水银3C时的密度是13.5951 g/cm3,所以 1 mmHg= 13.5951 g/cm2 托（Torr）： ITorr定义为 lTorr=l/760atm 由于1927年与1954年定义的标准大气压有差值，因而造成ImmHg比IToit大 1.9xl0-4dyn/cm2,即 1 mmHg= 1 Torr+1.910-4dyn/cm2 但由于两者差值很小，故通常认为 ImmHg-ITorr 英寸汞柱（inHg）：英制压力单位，它是1英寸高水银柱作用在lcm2面积上的力，即 linHg=25.4mmHg 普西（Psi）：英制压力单位，它是1平方英寸面积上作用1磅的力，即 1 Psi= 1 lb/in2 真空度的百分数（8%）：用真空度的百分数表示压力的大小，一般只有在压力高于lOOPa 时才采用。真空度的百分数为 5%=［（1 xl 05-p）/（lxl05）］xl 00% 式中p一以Pa作单位时的压力数值。 已知真空度的百分数，可用下式求气体压力p p=lxlO5 (1-5/100 ) 真空区域划分 为实用上便利起见，人们常把真空度粗划为几个区段，根据GB门3163—93,真空区域大致 划分如下 低真空 105Pa?102Pa 屮真空 102Pa?10?lPa 高真空10-lPa?10?5Pa 超高真空 10?9Pa 真空及真空度的概念 在真空技术中，把低与一个大气压的气体状态，统称为真空。与正常的大气压相比，这是一 种较稀薄的气体状态。 真空中残存气体的稀薄程度就是真空程度的高低，即真空度。 真空度的单位和真空区域的划分 一、 真空度的单位 依据真空度的定义，衡量真空度高低最直接的物理量应是每单位体积屮的分子数，但rti于历 史和技术上的原因，真空度的高低是用被抽空屮残存气体的绝对压强来表示的。“压强”是指 单位面积容器壁上所承受的压力，它是忖前国际上通用的表示真空度的物理fi, 1958年第 一-届国际技术会议曾建议用“托(Torr)作为测量真空度的单位，定义为TTorr是1个大气 压的1/76CT,因1个大气压为760mmHg,故Torr可以与mmHg通用。国际单位制(S1)中 规定压强的单位为(Pa),帕(Pa)是牛顿/米2 (N/m2)的专门名称。H前，包括我国在内 的许多国家已逐步用Pa取代Torr作为真空压强的标准基木单位。 真空度越高，则气体的压力越低，炉内气体分子数目也越少，反Z，气体压力越高，意味着 真空度越低。可见，压强的大小少真空度的高低成反比。 在各种文献中，压强的单位除了 Pa和Torr夕卜，还冇标准大气压、bar、kgf7cm2。几种常川 单位之间的换算关系见。 lTorr=133.3Pa lPa=7510-3Torr lTorr=lmmHg lTorr= 1/760 大气压