Silvaco TCAD器件仿真模块及器件仿真流程.ppt

Page ? * 主要内容 第一部分 器件仿真模块 第二部分 器件仿真流程 第三部分 总结 Page ? * 1 器件仿真模块 第一部分 器件仿真模块 第二部分 器件仿真流程 第三部分 总结 1.1.1 器件仿真特性 仿真半导体器件的电学、光学和热学行为 分析二维或三维器件的DC、AC和时域响应，光—电、电—光转换等特性 接口丰富： ATHENA、SSUPREM3工艺仿真器输入 DevEdit器件编辑器输入 UTMOST III接口可以对器件参数进行提取和对器件建模 丰富的仿真模块（…） Page ? * 1.1.2 全面的物理模型 DC, AC small-signal, and full time-dependency Drift-diffusion transport models Energy balance and Hydrodynamic transport models Lattice heating and heatsinks Graded and abrupt heterojunctions Optoelectronic interactions with general ray tracing Amorphous and polycrystalline materials General circuit environments Stimulated emission and radiation Fermi-Dirac and Boltzmann statistics Advanced mobility models Page ? * 1.1.2 全面的物理模型（续） Heavy doping effects Full acceptor and donor trap dynamics Ohmic, Schottky, and insulating contacts SRH, radiative, Auger, and surface recombination Impact ionization (local and non-local) Floating gates Band-to-band and Fowler-Nordheim tunneling Hot carrier injection Quantum transport models Thermionic emission currents Page ? * 1.1.3 先进的数值方法 准确和强大的离散化技术 Gummel、Newton和Block-Newton非线性迭代策略 对线性子问题的有效地求解，直接迭代 强大的初步猜测技术 小信号计算技术，包括所有的频率 稳定和精确的时间集成 Page ? * 1.2 ATLAS仿真模块 S-Pisces（二维硅器件模拟器） Devices3D（三维硅器件模拟器） Blaze2D/3D（先进材料的二维/三维器件模拟器） TFT2D/3D（无定型和多晶体二维/三维模拟器） VCSELS（垂直腔表面发射器件） Laser（半导体激光/二极管模拟器） Luminous2D/3D（光电子器件模块） Ferro（铁电体相关的介电常数模拟器） Quantum（二维三维量子限制效应模拟块） Giga2D/3D（二维/三维非等温器件模拟模块） NOISE（半导体噪声模块） C-Interpreter（C解释器模块） MixedMode（二维/三维组合器件和电路仿真模块） DevEdit2D/3D（二维/三维器件编辑器） Page ? * 1.2 ATLAS仿真模块（续） Page ? * 后显示的可用模块 1.2 ATLAS仿真模块（续） =================================== ATLAS : enabled S-PISCES : enabled BLAZE : enabled GIGA : enabled LUMINOUS : enabled LED : enabled TFT : enabled ORGANIC DISPLAY : enabled ORGANIC SOLAR : enabled MIXEDMODE : enabled LASER : enabled VCSEL : enabled FERRO : enabled QUANTUM : enabled NOISE : enabled … : … ================================= Page ? * go atlas 1.3 器件仿真的输入和输出 Page ? * Page ? * 2 器件仿真流程 第一部分 第二部