第3讲 电池工艺段介绍-制绒与湿法清洗学习演示课件.pptVIP

多晶制绒—如何制作好的多晶绒面 腐蚀温度的影响 多晶制绒—不同片源存在腐蚀差异的原因 原因主要由以下三种： 切割工艺存在差异导致：占主导作用 典型实例：金刚线切割与砂浆切割的制绒差异 铸锭工艺不同导致： 典型实例：均采用多晶腐蚀体系，单晶与多晶的制绒差异 晶向不同导致： 典型实例：密集晶粒与大晶粒的对比 多晶制绒—其他制绒方式 多晶硅片是否可以采用单晶碱制绒体系制绒？ 采用碱制绒体系制绒的缺点： Baseline Process RIE Process Damage Etch and Acid Texture POCl3 Furnace Diffusion RIE Texture Isolation and PSG Removal Deposition of SiNx ARC Metallization IV Measurement and Sorting Figure 1. Process flow for Onyx and comparison with Baseline. Figure 2. RIE process condition and principle 多晶制绒—其他制绒方式 RIE (RIE, Reactive Ion Etching) 制绒 Figure 1. RIE-A SEM, Χ50,000 Figure 2. RIE-B, Χ50,000 Figure