蚀刻控制.docVIP

一、 工艺规范 1、本碱性蚀刻液分母液和子液，母液是开缸槽液，子液是独立添加液。其成分指标如 下表： 母液 子液 铜含量 150± 5g/L 氯含量 4.8±0.2M 4.8±0.2M PH 值 8.6 ±0.25 9.6 ±0.25 比重 1.18±0.01 1.05±0.02 2、操作规范 铜含量 氯含量 PH 值 比重 温度 140-160g/L 165-185g/L 8.2-8.9 1.195-1.21 48-52℃ 二、操作规范 1、净槽 使用前先将蚀刻机按常规的碱和酸清洗后 ,用 5﹪的盐酸清洗 ,再用 5﹪的氨水搅拌 十 分钟后排出洗液 . 2、加料调速 加入母液至液面 ,升温至 48℃以上即开始蚀刻 .先以刷磨过的裸铜板测试上下压，调整传 动速度,即可正式生产 . 3、最佳操作范围 铜含量 氯含量 PH 值 比重 温度 喷压 140-160g/L 4.07-5.5M 8.2-8.9 1.19-1.21 45-50 ℃ 18-25PSI 4、蚀刻速度 (裸铜板测试 ,与设备蚀刻段的长短相关 ;蚀刻因子大于 2.5) 铜厚 0.5 OZ 1.0 OZ 2.0 OZ 时间 25S 左右 40-50S 80-90S 三、添加方式 1、手动操作 l 当比重超过 1.21 或铜含量超过 160g/L 时,可除去 1/5 槽液,并添加子液至液面 ;. l 因换液后溶液温度会下降