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制定 《液晶面板制造稀释废液回收再利用方法》国家标准
编制说明
一 工作简况
1.1 任务来源、协作单位
根据国家标准化管理委员会文件“国标委发[2018]41 号 《国家标准化管理委员会关于下达2018 年第
二批国家标准制修订计划的通知》”的要求,全国废弃化学品处置标准化技术委员会将于2020 年9 月前完
成 《液晶面板制造稀释废液回收再利用方法》(计划编号T-606 )国家标准的制定工作,本标
准由全国废弃化学品处置标准化技术委员会归口。
主要起草单位有:杭州格林达化学有限公司、深圳市深投环保科技有限公司、中海油天津化工研究设
计院有限公司等。
1.2 主要工作过程
全国废弃化学品处置标准化技术委员会接到国家标准化管理委员会文件“国标委发[2018]41 号 《国家
标准化管理委员会关于下达2018 年第二批国家标准制修订计划的通知》”后,即展开了《液晶面板制造稀
释废液回收再利用方法》国家标准制定的前期准备工作,向相关单位发制标调查函,查阅国内外相关资料,
广泛征求行业领域内各方意见。然后对收到的回执意见进行归纳总结后,提出了制定 《液晶面板制造稀释
废液回收再利用方法》国家标准文献小结。
20 18 年11 月14 日~17 日在天津市召开了制修订标准工作方案会。在会上制标工作小组对《液晶面
板制造稀释废液回收再利用方法》国家标准的制定进行了认真仔细的讨论,对标准的框架提出了意见和建
议。主要内容包括:① 采标情况,本标准按照国内液晶面板制造稀释废液回收再利用的实际情况进行制
定;②标准总体结构,包括:范围、分类、组成、回收再利用方法、环境保护要求;③工作安排和进度,
2019 年2 月底前,起草小组成员审查核实《液晶面板制造稀释废液回收再利用方法》标准内容合理性以及
需要补充的内容; 2019 年4 月底前,中海油天津化工研究设计院有限公司负责完成标准征求意见稿及编
制说明。
1.3 主要起草人及其所做的工作
负责制定标准各阶段相关文件起草编写工作,包括资料查询、资料汇总、标准草案、编制说明及上报
材料等。
二 制标原则
2.1 积极采用国际标准和国外先进标准;
2.2 有利于促进技术进步,提高产品质量;
2.3 有利于合理利用资源,提高经济效益;
2.4 符合用户要求,保护消费者利益,促进对外贸易;
2.5 遵循科学性、先进性、统一性。
三 标准主要内容
稀释液(Thinner 或稀释剂)应用于光刻工艺前端光阻的清洗过程。在光阻涂覆的过程中,如光阻涂
布喷嘴、涂布周围设备或基板边缘等部分也会沾附光阻,这些在之后进行的基板光阻涂布工艺中会引发不
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良现象,必须去除,为此使用的有机溶剂统称为稀释液。稀释液废液通常包含光阻成分,此外在收集废液
的过程中还可以进一步包含源自周边环境的颗粒(partical )、金属成分,水分或其他有机溶剂。像这样被
杂质污染的有机溶剂,其自身利用价值降低,此外,在进行焚烧处理时会有生成有害化学物质的问题。据
调研,国内面板厂家关于稀释液废液回收再利用方法良莠不齐,由于无统一标准来指导和规范行业内处理
处置行为,造成资源的浪费及环境的再次污染。随着高世代TFT-LCD 面板线纷纷上马,稀释液废液必将
大量产生,行业急需统一的回收再利用方法标准,以避免由于处理方法不当带来的资源浪费和环境问题。
因此,制定《液晶面板制造稀释废液回收再利用方法》国家标准势在必行,对我国实现可持续发展将具有
深远的现实意义。标准具体内容如下:
3.1 范围
本标准规定了液晶面板制造稀释废液的分类、组成、回收再利用方法及环境保护要求。
本标准适用于TFT-LCD (薄膜晶体管液晶显示器)面板线稀释废液的回收再利用。
3.2 分类
根据TFT-LCD (薄膜晶体管液晶显示器)光刻工艺前端光阻的主要清洗工艺不同,将液晶面板制造稀
释废液分为:单组份(丙二醇甲醚或丙二醇甲醚醋酸酯)、双组分(丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯以一
定比例组合)和三组分(乙酸丁酯、丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯以一定比例组合)。
3.3 组成
液晶面板制造稀释废液含有光阻、颗粒、金属元素、水份、其他有机溶剂等杂质外,还有大量有效成
分。
3.4 回收再利用方法
根据液晶面板制造稀释废液组合物中各有机物沸点的差异性,采用精馏工艺对稀释液废液进行处理,
再除杂纯化工艺
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