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A C TA PHO TON ICA S IN ICA2000 年 5 月M ay 2000消色差谐 A C TA PHO TON ICA S IN ICA 2000 年 5 月 M ay 2000 消色差谐衍射微透镜列阵的应用研究 杜春雷 白临波 邱传凯 王永茹 潘 丽 (中国科学院光电技术研究所, 微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209) 摘 要 本文研究菲涅耳谐衍射透镜的特性和工作条件, 分析二元谐衍射透镜的衍射效率及制 作要求, 设计并研制了用于萨克2哈特曼波前传感器的双波长共焦谐衍射微透镜列阵, 得到了良 好的应用效果 1 关键词 谐衍射透镜; 多波长共焦; 衍射效率 引言 衍射微透镜是典型的、应用广泛的衍射光学 元件之一, 它已成为现代光学系统中不可缺少的 元件, 在波前整形、波前传感、光通讯、光扫描以及 作为光聚能器等多项功能实现上发挥了重要作 用1～ 3 1 为了提高元件质量、扩充元件功能、发挥元 件的自身潜力, 人们一直努力研究衍射透镜特性, 在设计和制作方法上探索创新 1 由于衍射透镜的 焦距随波长变化, 衍射色散非常严重 1 衍射元件 大都在单波长条件下工作, 这就限制了衍射透镜 在复色光系统中使用 1 本文以衍射理论和实验为 基础, 深入研究衍射透镜具有的谐波共振特点, 通 过建立谐波长与相位深度因子的关系, 设计谐衍 射透镜来减小色差; 讨论了用于双波长、多波长或 复色光谐衍射透镜的设计 1 研制出用于萨克2哈 特 曼 波 前 传 感 器 系 统 的 双 波 长 ( 1 3 1 5 Λm , 0 第 n 环带半径位置为 r2 = 2nM Κ0 f 0 (2) n 式中, M 为相位深度因子 1 它决定透镜的结构尺 寸 ( 相位深度和环带宽度) 及色散特性 1 对于 M = 1 的透镜即为纯相位型菲涅耳透镜, M 大于 1 的透镜皆可称为谐衍射透镜 1 引入M 后, 衍射透 镜的总相位深度 hM 、焦距 F、最大环带数 Z to ta l 及 最小特征尺寸 d m in 可表示为5 (3) (4) (5) (6) 为菲涅耳透 hM = M Κ0 ?? n 0 F = Κ0M f 0 ?Κm d m in = M ×Κ?(L ×N A ) Z to ta l= D ×N A ?(4M Κ0 ) 式中 f 0 为设计焦距, m 为衍射级, D 镜直径, N A 为数值孔径 1? n0 为两种介质折射率 差, 与设计波长 Κ0 有关 1Α为波长匹配系数 1 0. 6328Λm ) 共焦点二元谐衍射透镜列阵, 在光学 Α= Κ0 ? n ?(? n0 Κ) Κ为使用波长, 如果 Κ= Κ0 , 则 Α= 11 (7) 系统中, 该微透镜列阵同时工作在两个波长上, 满 足了系统的使用要求 1 研究及实验结果为衍射元 件在成象系统中实现宽波段消衍射色差奠定了基 础 1 112 M 对衍射透镜结构的影响 相位深度因子是衍射元件的一个重要结构参 数, 改变 M , 元件的结构 和 其 性 质 将 发 生 改 变 1 对元件结构的影响 1 由前节所述公 首先分析 M 1 菲涅耳谐衍射透镜的结构参数及 光谱特性 111 谐衍射透镜表达式 衍射透镜环带之间的光学相位函数为4 式可知, 透镜数值孔径一定, 随着M 由小变大, 衍 射透镜的总环带数由多变少; 浮雕深度由浅变深; 环带宽度由窄变宽 1 表 1 举例说明设计参数 f 0 = 15 mm , D = 0. 6 mm , Κ= 0. 5Λ m M , 由 1 增加至 6, 0 Υ(x ) = 2ΠM (n - r2 ?(2M Κ0 f 0 ) ) rn- 1 ≤r rn (1) 衍射透镜的总环带数、最大浮雕深度、最小环带宽 度 d m in 的变化 1 收稿日期: 1999—11—05 杜春雷等 1 消色差谐衍射微透镜列阵的应用研究4275 期Κ2 则有f 2 = Κ1 f 1 ?Κ2故?f = (? Κ?Κ2 ) f 1若 f 1 = 杜春雷等 1 消色差谐衍射微透镜列阵的应用研究 427 5 期 Κ2 则有 f 2 = Κ1 f 1 ?Κ2 故 ?f = (? Κ?Κ2 ) f 1 若 f 1 = 100mm , 表 1 相位深度因子M 对衍射透镜结构参数的影响 (9) 1 6 hM dm in 2 3 2hM 2dm in 6 1 6hM 6dm in M Z to ta l hM dm in (10) 在 可 见 光 范 围 内, Κ1 = 400nm , Κ2 = 700nm , 则 ? Κ= 300nm , 即 有 ?f = 57mm , 可见色差非常严重