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微波等离子体化学气相 微波等离子体化学气相沉积 装置的工作原理 吕庆敖 邬钦崇 (中国科学院等离子体物理研究所, 合肥 230031) (收稿日期 1997- 01- 19) W O RK ING PR INC IPL E O F M ICROW A VE PL A SM A CVD SET UP L üQ in gao W u Q in chon g ( In st itute of P la sm a Phy s ic s, A cadem ia S in ica , Hef e i 230031) A bstrac t: M ic row ave P la sm a C h em ica l V apo r D epo sit io n (M PCV D ) is an im po r tan t m e tho d fo r d iam o nd f ilm p rep a ra t io n. T h e m ic row ave m o de s such a s T E 10 , T EM and TM 01 in th e m ic row ave m o de co nve r te r o f th e M PCV D se t up s w e re m ea su red in exp e r im en t s. T h e in it ia l p h a se s o f T EM and TM 01 m o de s w e re g iven re sp ec t ive ly. T h e co up ling be tw een m ic row ave and p la sm a w a s de2 sc r ibed. 5 kW an tenna co up led M PCV D se t up w a s deve lop ed in C h ina fo r th e f ir st t im e. Keywords: M ic row ave m o de, P la sm a, CV D se t up. 摘 要: 微波等离子体化学气相沉积 (M PCV D ) 是制备金刚石膜的一种重要方法。用简单实验 方法给出了M PCV D 装置中微波模式转换、微波与等离子体耦合等工作原理。 矩形波导中的 T E 10 模式经微波模式转换器转变为同轴线中的 T EM 模式, 再由 T EM 模式转变为圆波导的 TM 01 模式。 TM 01 模式激发低压气体形成等离子体, 等离子体严重影响微波模式分布。在国内首次成功运行了 5 kW 天线耦合石英窗式M PCV D 装置。 关键词: 微波模式、等离子体、化学气相沉积装置。 分类号: TB 79、TB 43、TM 924. 75、O 643. 131。 金刚石具有很多优异性能 (如高硬度、低摩擦系数、高弹性模量、高透导光率、高热导率、高 绝缘、宽能隙载流子的高迁移率以及良好的化学稳定性等)。因此, 金刚石膜在电子、光学、机械 等工业领域有广泛的应用前景。 常用的低气压和低温度下沉金刚石膜方法有: 热丝法、等离子 体炬法、微波等离子体法等。 其中微波等离子体化学气相沉积法具有综合优势。 美国 A ST eX 公司在 1992 年已经推出M PCV D 制备金刚石膜的商品装置 (微波功率 1. 5 kW 和 5 kW ) 和全 透明金刚石膜商品。W e st in gho u se 电气公司于 1991 年用M PCV D 法在直径为 40 mm 的航天 器窗口上沉积金刚石膜。我所于 1994 年研制成功 800 W M PCV D 装置并制备了金刚石膜。就 作者所知, 关于M PV CD 装置的结构和工作原理却未曾详细报道。 1 实验装置 M PCV D 装置包括 2. 45 GH z 或 915 M H z 的微波源、环形器与水负载、定向耦合器与微波 功率计、阻抗调配器、微波模式转换器、反应室、供气、抽气、检测系统等。 其中微波模式转换器 75吕庆敖等 微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理是关键部件。 把矩形波导的 T E 10 模式转换为圆波导的 TM 01 模式。 TM 01 模式激发低压含碳气体 75 吕庆敖等 微波等离子体化学气相沉积装置的工作原理 是关键部件。 把矩形波导的 T E 10 模式转换为圆波导的 TM 01 模式。 TM 01 模式激发低压含碳气 体 (133～ 9 310 P a, H 2 中混入 0. 1%～ 5% 的 CH 4 ) 形成等离子体。TM 01 驻波模式的电场等势面 分布为不接触谐振腔壁的同心椭球。这样, TM 01 模式能