折叠波导几何尺寸自动测量方法及误差分析-Xinhualu.pdf

第３９卷　第１期 真　空　科　学　与　技　术　学　报 ２０１９年１月 ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＶＡＣＵＵＭＳＣＩＥＮＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ １ 　 折叠波导几何尺寸自动测量方法及误差分析  王　建 　李　飞　孙宇辉　赵建东　段海霞 （中国科学院电子学研究所 空间行波管研究发展中心　北京　１００４０７） ＡｕｔｏｍａｔｉｃＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｎｄＥｒｒｏｒＡｎａｌｙｓｉｓｏｆＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｏｆ ＭｕｌｔｉＰｅｒｉｏｄＦｏｌｄｅｄＷａｖｅｇｕｉｄｅ  ＷａｎｇＪｉａｎ ，ＬｉＦｅｉ，ＳｕｎＹｕｈｕｉ，ＺｈａｏＪｉａｎｄｏｎｇ，ＤｕａｎＨａｉｘｉａ （ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１００４０７，Ｃｈｉｎａ） 　　Ａｂｓｔｒａｃｔ　Ｈｅｒｅｉｎ，ｗｅｒｅｐｏｒｔｅｄｔｈｅｎｏｖｅｌｔｅｃｈｎｉｑｕｅｆｏｒｆｕｌｌａｎｄｓｅｍｉａｕｔｏｍａｔｉｃｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃ ｔｕｒｅｓｏｆｍｕｌｔｉｐｅｒｉｏｄｆｏｌｄｅｄｗａｖｅｇｕｉｄｅ（ＦＷＧ）ｏｆｔｒａｖｅｌｉｎｇｗａｖｅｔｕｂｅ（ＴＷＴ）．Ｔｈｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎｓｏｆｔｈｅｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆＷｂａｎｄＦＷＧｓｌｏｗｗａｖｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ，ｂｕｔｎｏｔｌｉｍｉｔｅｄｔｏｔｈｅｐｅｒｉｏｄｌｅｎｇｔｈ，ｇｒｏｏｖｅ’ｓｄｅｐｔｈ／ｗｉｄｔｈ／ｓｔｅｅｐ ｎｅｓｓ，ｓｔｒａｉｇｈｔｅｄｇｅｌｅｎｇｔｈ，ｅｂｅａｍｃｈａｎｎｅｌｒａｄｉｕｓ，ｓｕｒｆａｃｅｒｏｕｇｈｎｅｓｓｏｆｓｅｒｐｅｎｔｉｎｅｇｒｏｏｖｅｂｏｔｔｏｍａｎｄａｓｓｅｍｂｌｙｈｏｌｅ ｓｉｚｅ，ｗｅｒｅｐｒｅｃｉｓｅｌｙｍｅａｓｕｒｅｄｗｉｔｈｖｉｄｅｏｍｅａｓｕｒｉｎｇｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ｔｏｏｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ｌａｓｅｒｃｏｎｆｏｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅａｎｄａｌ ｔｉｍｅｔｅｒ；ａｎｄｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｄｒｅｓｕｌｔｓｗｅｒｅｐｒｏｃｅｓｓｅｄｗｉｔｈｓｅｌｆｄｅｖｅｌｏｐｅｄｄａｔａａｎａｌｙｓｉｓｐｒｏｇｒａｍｓ．Ｍｏｒｅｏｖｅｒ，ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅ ｍｅｎｔｅｒｒｏｒｓｗｅｒｅａｎａｌｙｚｅｄ．Ｔｈｅｔｅｓｔｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕｒａｃｙ（ｔｉｍｅ）ｃａｎｂｅｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄｔｏｗｉｔｈｉｎ １５ ｍ（６０ｍｉｎ）．Ｗｅｓｕｇｇｅｓｔｔｈａｔｔｈｅｎｅｗｔｉｍｅｓａｖｉｎｇ，ｈｉｇｈｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｅｔｈｏｄｂｅｏｆｓｏｍｅｔｅｃｈｎｏｌｏｇ μ ｉｃａｌｉｎｔｅｒｅｓｔｉｎｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎｏｆＦＷＧＴＷＴ． 　　Ｋｅｙｗｏｒｄｓ　Ｆｏｌｄｅｄｗａｖｅｇｕｉｄｅ，Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ，Ｅｒｒｏｒａｎａｌｙｓｉｓ，Ｔｒａｖｅｌｉｎｇｗａｖｅｔｕｂｅ 　　摘要　根据Ｗ波段行波管的设计要求，考虑加工设备的固有精度，编写测量程序，实现了折叠波导多周期微结构的自动 精密测量。实际应用时，利用视频影像测量显微镜、工具显微镜、激光共聚焦显微镜和高度计完成了Ｗ波段行波管折叠波导 慢波结构关键几何尺寸的全自动和半自动测量，分析了测量误差的来源，提出了最大限度减小误差的方法，各个尺寸的测量 精度全部控制在１５ ｍ以内，测量时间从原来的３ｈ缩短到了１ｈ以内，显著提高了工作效率，为折叠波导行波管的批量生 μ 产节约了时间和人力成本。 关键词　折叠波导　尺寸测量　误差分析　行波管 中图分类号：ＴＮ１２４　　　文献标识码：Ａ　　　ｄｏｉ：１０．１３９２２／ｊ．ｃｎｋｉ．ｃｊｏｖｓｔ．２０１９．０４．０１ 　　过去几十年里，真空电子器件对各国国防建设 种理想的太赫兹辐射源，随着微机电系统（ＭＥＭＳ） 和国家经济发展做出了巨大贡献。近二十年，随着 加工技术、ＬＩＧ