中红外空心光纤作为探测腔的新型非色散CO2气体传感器 精灵论文.docVIP

中红外空心光纤作为探测腔的新型非色散 CO2 气体传感器 彭晶1，谭伟2，纪新明1，石艺蔚2，黄宜平3 5 （1. 复旦大学微电子学, 上海 200433； 2. 复旦大学通讯科学与工程系, 上海 200433； 3. 复旦大学微电子学系, 上海 200433） 摘要：研究了一种新型非色散红外的 CO2 气体传感器，其中该气体传感器的检测腔体采用 中红外空心光纤。论文中所用到的中红外光纤在 CO2 的吸收峰 4.26μm 处具有低损耗的特 10 点，降低了红外光在此波段的损耗，提高了系统的灵敏度和选择性。实验结果表明，新型的 非色散的 CO2 气体传感器系统对 5ppmCO2 气体具有 8.33mv 电压幅值响应，优于传统的不 锈钢金属检测腔体；空心光纤的气体传感器的响应时间低于 10s；该传感器的灵敏度为 1.82mV/ppm。 关键词：气体传感器；非色散中红外；空心光纤 15 中图分类号：TP212.3 Novel NDIR CO2 sensor using a mid-IR hollow fiber as a gas cell Peng Jing1, Tan Wei2, Ji Xinming1, Shi Yiwei3, Huang Yiping1 20 (1. Department of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433; 2. Department of Communication Science and Engineering, Fudan University, Shanghai 200433; 3. Department of Communication Science and Engineering, Fudan University, Shanghai 200433) Abstract: A novel CO2 non-dispersive infrared (NDIR) sensor using the mid-infrared (mid-IR) hollow fiber as a gas cell has been demonstrated. The mid-IR hollow fiber is chosen for its optimum 25 transmission band (band-gap) overlap with CO2 fundamental absorption spectrum around 4.26 μm to serve as a filter. A comparison with the system using a smooth metal cell is presented. The signal noise suggests that a measurement resolution better than 5 ppm concentration is achievable using this mid-IR hollow fiber. The response time of the system using hollow fiber can be in the order of shorter than 10s with the sensitivity of 1.82 mv/ppm. 30 Key words: gas sensor; non-dispersive infrared; hollow fiber 0 引言 近年来，CO2 气体浓度的检测受到广泛重视。它是一种重要的生命气体，同时也是一种 工业副产品和“温室效应”的主要气体。作为一个“惰性”气体，采用化学的方法很难实现 35 实时浓度监测，通常采用红外光谱法[1]。在各种红外光谱法中，非色散红外吸收法因为其高 可靠性，选择性和灵敏度而受到越来越多研究者的关注[2][3]。 在红外气敏传感系统中引入光纤来提高传感器的灵敏度已经有报道[4] [5]。因为引入光纤 有很多潜在的优势，光纤可以提高灵敏度，抗干扰性好，并且利于小型化。但是目前传感器 系统中引入的光纤仅仅是作为波导，而且光纤传输波段局限在可见和近红外波段，在中红外 基金项目：国家自然科学基金（NO和中国高校博士点基金（NO.20070246099） 作者简介：彭晶(1986- )男，江西九江人，硕士研究生，主要研究基于 MEMS 红外光源的气体传感器及富 集器 通信联系人：黄宜平，教授，主要从事 MEMS 器件和传感器方面的研究. E-mail: HYPERLINK mailto:yphuang@fudan.edu