哈工大-精密和超精密加工技术-大作业.docVIP

哈工大-精密和超精密加工技术-大作业 PAGE PAGE 1 ———————————————————————————————— 作者： ———————————————————————————————— 日期： PAGE PAGE 2 《精密和超精密加工技术》课程 大作业 院 （系） 英才学院 专 业 机械设计制造及其自动化 姓 名 xxx 学 号 612xxx 班 号 1236xxx 完成日期 2015.7.8 哈尔滨工业大学机电工程学院 2015年 精密和超精密加工技术（大作业） PAGE I 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u 1 前言 - 1 - 2 LIGA工艺[2] - 2 - 3 UV-LIGA工艺[3] - 3 - 4 LIGA技术的应用[5] - 4 - 5 结论[6] - 5 - 参考文献 - 5 - 哈尔滨工业大学本科毕业设计（论文） 精密和超精密加工技术（大作业） 6 - LIGA技术及其应用 摘 要：微电子机械系统（MEMS）技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用，推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展。本文介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用。 关键词：三维微细加工；LIGA技术；UV-LIGA技术 The Development and Application of LIGA Abstract: LIGA and quasi-LIGA technologies used for high aspect ratio 3-D micromachining were accelerated by the rise and wide applications in information society of MEMS (micro-electro-mechanical systems) technology. LIGA and related technologies are presented, and the applications of these technologies are illustrated for examples. Keywords: 3-D micromachining；LIGA technology；UV-LIGA technology 1 前言 随着MEMS技术的发展和人们在微机械制造方面所取得的成就，对各种微执行器、微传感器等微结构的制造方法的研究成为 MEMS 技术研究的一个热点，同时微机械制造技术也是MEMS技术向更高层次发展的推动力。微结构的广泛应用直接导致MEMS市场对三维微机械部件的需求量呈指数增长。因此，三维微细加工技术就成为MEMS技术非常重要的工艺技术之一[1]。 LIGA是德文Lithographie、Galvanoformung和Abformung三个词的缩写，是 X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺的完美结合，20 世纪 80 年代由德国卡尔斯鲁尔核研究中心开发而成。LIGA 技术自问世后, 发展非常迅速, 德国、美国和日本都开展了该技术领域的研究工作。LIGA 技术是一种利用同步辐射 X 射线制造三维器件的先进制造技术。它由X射线掩模板制备、同步X射线光刻、微结构模具、微电铸和微复制工艺组成，用LIGA 技术可以进行微器件的大批量生产,使成本大大降低。 LIGA 技术主要有以下几个特点： 它的产品具有很大的结构强度，因而坚固耐用，实用性强； LIGA 产品可以用多种材料制备，如金属、陶瓷、聚合物等； 可以直接生产复合结构。并同时具有电路制作能力，便于制作机电一体化产品； 可以获得亚微米级精度的微结构； 便于批量生产和大规模复制，因而成本低廉价格便宜。 它的最大特点是能加工高深宽比的微结构。目前利用LIGA 技术加工的微结构典型参数见表1。 表 SEQ 表 \* ARABIC 1 利用LIGA技术加工的微结构典型参数 典型参数 数值 结构深度 20μm～500μm （最大可达 1mm） 深宽比 200 最小尺寸 2μm 表面最小细节 0.5μm 表面粗糙度 0.03μm～0.05μm （峰谷差） 加工精度 0.1μm 最大结构尺寸 20mm～60mm 2 LIGA工艺[2] 图1是LIGA工艺中的主要制作步骤。它包括三个基本步骤