第七章典型光电测试系统1.pptVIP

针对测试对象、任务要求、测试原理及测试精度等指标的不同，形成了各种各样的光电测试系统。本章列举一些典型光电测试系统，介绍光电测试系统的工作原理和应用。 光电测试系统具有非接触、实时、精度高等特点。 光电开关与光电转速计 莫尔条纹测长仪 激光测距仪 激光干涉测量仪 激光多普勒测速仪 光弹效应测力计 7.1 光电开关与光电转速计 光电探测器输出开关量 结构较为简单、工作可靠、寿命长 光电开关 分为主动型光电开关和被动型光电开关。 主动型光电开关由LED管和光电二极管、光电三极管或光电达林顿管组成。 被动型光电开关主要由光敏电阻、光电二极管等组成。 （1）透射分离型主动开关（键盘） （2）反射型主动开关 （3）光电耦合器（主动） （4）编码计数型主动开关 （5）被动开关 光电转速计 一般转速计：测量范围小、精度不高、刚性接触（附加负荷），不适合小功率测量。 光电转速计避免上述缺点，可以实现测量自动化和数字化广泛应用于电动机、内燃机、透平、水轮机及各种机床的转速测量和调节中。 只要测出频率，就可以得到转速 计数测量法 （1）测量被测信号脉冲数 （2）时基信号（控制闸门，精确已知） （3）测高频精度高，低频相对误差增大 周期测量法 （1）固定的高频脉冲做参考，精确 已知 （2）信号脉冲控制闸门 （3）低频精度高，高频相对误差增 大 7.2 莫尔条纹测长仪 常用的光栅，其栅距(相邻栅线之间的距离)大于0.01mm，称为黑白光栅。这时光栅栅距远大于光波长，两个光栅叠合在一起，形成莫尔条纹。当使用更小栅距的位相光栅时，莫尔条纹就是由衍射和干涉形成的。 长光栅莫尔条纹 常用光栅其栅距大于0.01mm时，光栅栅距远大于光波长称为黑白光栅，两个光栅叠合在一起，形成莫尔条纹。 (1)莫尔条纹方程 主光栅A的刻线方程为 指示光栅B的刻线与轴的交点的坐标为 莫尔条纹1是由A、B两光栅各同编号刻线的交点连接而成，其莫尔条纹1的方程求解如下： b.莫尔条纹1的斜率为 c.莫尔条纹1的方程可表示为 （2）结论 莫尔条纹是周期函数，其周期T=P2/sinθ ， 又称为莫尔条纹的宽度B。 θ≠0，P1=P2，莫尔条纹与x轴夹角为θ/2, 当θ很小时，莫尔条纹与y轴近似垂直，此时得到近似“横向莫尔条纹”。 θ≠0，P2=P1cosθ,得到严格的横向莫尔条纹 θ=0, P1≠P2, 得到纵向莫尔条纹 其它情况均为斜向莫尔条纹 圆光栅莫尔条纹 两块圆形光栅重叠在一起也可形成莫尔条纹，利用圆光栅莫尔条纹可以直接进行角度测量。 圆光栅可分为径向圆光栅和切向圆光栅。径向圆光栅的刻线都从圆心向外辐射，切向圆光栅的刻线都切于一个小圆。 径向光栅莫尔条纹是由两块栅距角相同的径向光栅保持一个较小的偏心量叠合形成圆弧莫尔条纹。 切向光栅莫尔条纹是由两块刻线数相同、切向方向相反而切线圆半径不同的切向圆光栅同心叠合得到的莫尔条纹。 径向光栅莫尔条纹，在沿着偏心的方向上，产生近似平行于栅线的纵向莫尔条纹；在位于与偏心方向垂直的位置上产生近似垂直于栅线的莫尔条纹；其它方向为斜向莫尔条纹。 切向莫尔条纹是圆环形的，把它称作圆环莫尔条纹。 莫尔条纹测长原理 当长光栅固定，指示光栅相对移动一个栅距，莫尔条纹就变化一个周期。一般情况下指示光栅与工作台固定在一起。通过对指示光栅和长光栅形成的莫尔条纹计数得到工作台前后移动的距离。 指示光栅移动的距离x ： x = NP + δ P为光栅栅距，N为指示光栅移动距离中包含的光栅线对数，δ小于一个光栅栅距的小数。 （1）简单的莫尔条纹测长仪只对指示光栅移过的光栅线对数N进行计数； （2）实际系统利用电子细分方法将莫尔条纹的一个周期细分。 细分判向原理 （1）四倍频细分透镜读数头 1、灯泡 2、聚光镜 3、长光栅 4、指示光栅 5、四个柱面聚光镜 6、狭缝 7、四个光电二极管 （2）读数头构成特点及信号处理过程 （1）四个柱面聚光镜布置在莫尔条纹的一个周期内，接受光栅透 过的光能，它们相互之间相差1/4个莫尔条纹周期。 （2）在每个柱面聚光镜的焦点上布置一个光电二极管，进行光电转换。 （3）指示光栅移动一个栅距，莫尔条纹变化一个周期，则四个光电二极管分别输出相位差为90度的近似正弦信号，该信号整形后得到相差90度的方波脉冲信号 （4）莫尔条纹变化一个周期，计数器中的到4个方波脉冲，提高分辨力 （5）采用可逆计数器，可以判断指示光栅的移动方向 （4）整形、细分、判向电路的更详细的方框图示意 说