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实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 注意事项 （1）压阻式传感器的精度很高，但是存在的最大问题在于长期稳定性不够理想，存在较大的漂移，这是传感器本身的特性所决定的。为了保证计量校准结果的准确和可靠，通常在一段时间内需要重新标定，一般为一年。 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 （2）高精度的稳定检测需要关闭气泵电源，以免产生气动不稳定对容器的真实压力产生影响，从而得出错误读数。 （3）检测过程中，需要与大气相连通的管接头保持畅通状态，以确定气压检测的基准不发生改变。 实训二 使用压阻式压力传感器检测气压 思考与练习 1.通过电阻应变片检测应变计算出所受到的力。请上网找一家生产电阻应变片的企业，并仔细阅读其产品说明书，说明其产品都适应于什么行业的检测。 2.总结压阻式传感器的检测原理和一般检测方法。 思考与练习 通过实践操作和训练理解，初步认识压阻式传感器及其检测适应性，了解工业中常用的各种压阻式传感器的使用方法和一般规程。 技能目标 任务二 压阻式压力传感器的应用 压力（压强）传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，主要检测流体（如气体和液体）的压力值，单位为Pa，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。压力传感器是用于检测液体与气体的压强的传感器。 知识链接 任务二 压阻式压力传感器的应用 压阻式传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过检测电路就可得到正比于力变化的电信号输出。 压阻式传感器用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的检测和控制。 任务二 压阻式压力传感器的应用 一、压阻式压力传感器 是利用硅的压阻效应和微电子技术制成的，是一种新的物性型传感器。灵敏度高、动态响应好、精度高、易于微型化和集成化等。 压阻效应 单晶硅材料在受到应力作用后，其电阻率发生明显变化，这种现象被称为压阻效应。 扩散硅压力传感器 1一引出线；2一电极；3一扩散电阻引线；4一扩散型应变片 5— 单晶硅膜片；6—硅环；7一玻璃粘接剂；8一玻璃基板 根据结构不同，扩散硅型传感器可用来测量压力、力、压力差、加速度等，其中应用最广的是扩散硅压力传感器。 压阻式固态压力传感器的隔离、承压膜片 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 低压进气口 绝对压力传感器 小型压阻式固态压力传感器（续） 呼吸、透析和注射泵设备中用的压力传感器 p1进气管 p2进气管 固态压力传感器 K—传感器的灵敏度系数 投入式液位计 压阻式固态压力传感器用于投入式液位计：p1的进气孔用柔性不锈钢隔离膜片隔离，并用硅油传导压力而与液体相通。 投入式液位传感器 投入式液位传感器安装方便，适应于深度为 几米 至 几十米，且混有 大 量 污物、杂质的水或其他液体的液位测量。 投入式液位计液位的计算： 安装高度h0处水的表压 p1=?gh1 h=h0+h1=h0+p1 /（?g） 例：液位计安装高度为1m，测得压力为98kPa，求水的深度。 压阻式压力传感器：周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器。 优点是： 频率响应高,适于动态检测 体积小，适于微型化，可集成到一个芯片上 精度高，可达0.1～0.01 灵敏高, 有些应用场合可不加放大器 无活动部件，可靠性高 任务二 压阻式压力传感器的应用 2.2.3 扩散型压阻式压力传感器 压阻式压力传感器结构简图 1—低压腔 2—高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件， 在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜 工作原理： 膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。 四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡， 输出相应的电压，电压与膜片两边的压力差成正比。 四个电阻的配置位置： 按膜片上径向应力σr和切向应力σt的分布情况确定。 扩散型压阻式压力传感器特点 优点: 体积小，结构比较简单，动态响应也好，灵敏度高，能测出十几帕的微压，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。 测量准确度受到非线性和温度的影响。智能压阻式压力传感器利用微处理器对非线性和温度进行补偿。 2.2.4 压阻式加速度传感器 它的悬臂梁直接用单晶硅制成，四个扩散电阻扩散在其根部两面