直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度.pdf

下载文档

2
0
约1.35万字
约 5页
2019-10-26 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

24 4 Vol24 No. 4 2003 8 CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE Aug., 2003 : 1000-7032(2003) 04-0431-04 直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度 1 1 1 1 2 2 3 王欣 , 高丽娟 , 于陕升 , 郑伟涛 , 徐娓 , 郭巍, 杨开宇 ( 1. ; 2. ; 3. , 130023) : , Ar/ N , N ( N 2 2 2 5%, 10%, 30%,50%) ( 160,30,20, 10,5min) ,Fe N X x ( XPS)N ; X ( XR ) N Fe N 2 2 x , N 5% FeN , 10% -Fe N , 30%50% FeN 2 0056 3 (AFM) X (GIXA) , N 2 ,, : N , 5% , 065, 053 2 002, Kolmogorov KPZ : ; ; : O4841 : A d + 1( d ) 1 引言 , KPZ [ 5~ 7] ,, , 2+ 1, Kolmogorov [ 1] 066, 05 KPZ , : + / = 2, , , [ 1, 3] Eden KPZ [2,3] , , 1952 , [ 8] 2 ,Fe N( x