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- 2019-10-16 发布于广东
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微机电系统制程
Microfabrication technology
第六讲:低压化学气相沉积
虞益挺 乔大勇
Outline
1 Fundamentals
薄膜淀积之LPCVD
几种淀积模型
薄膜质量评价
2 Exercises
设备结构及原理
设备操作流程
常见故障及排除
设备日常维护
注意事项
1、
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