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钛及钛合金表面耐磨热处理孙荣禄郭立新董尚利杨德庄(哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 哈尔滨)1 钛及钛合金表面耐磨热处理 孙荣禄 郭立新 董尚利 杨德庄 ( 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院 哈尔滨 ) 150001 文 摘 综述了近年来为提高钛及钛合金表面耐磨性而采用的热处理表面改性技术 ,如渗氮 、渗硼 、离 子注入 、激光合金化等 。讨论了每种工艺方法所获表面改性层的结构和性能特征及其适应范围 。其中着重 介绍了离子氮化和激光合金化工艺 ,比较了各自的优缺点 ,并提出了应进一步研究的方向 。 关键词 钛 ,钛合金 ,耐磨性 ,热处理 Surface Abrasion Resistance Heat2treatment of Titanium and Titanium Alloys Sun Ronglu Guo Lixin Dong Shangli Yang Dezhuang ( School of Material Science and Engineering Harbin Institute of Technology Harbin 150001 ) Abstract Surface modification techniques such as nitriding , boronzing ,ion implantation and laser alloying to im2 prove the inherent poor abrasion resistance of titanium and titanium alloys ,are reviewed here . The structure and abrasion resistance of the modified surface layer by each of the above techniques together with its applications is also discussed. Ion implantation and laser alloying is especially reviewed on their advantage and disadvantage ,and further works are also sum2 marized. Key words Titanium ,Titanium alloys ,Abrasion resistance , Heat treatment 1 前言 钛及钛合金比强度高、耐蚀性能好 ,在航天航空 和石油化工等工业部门广泛用作结构材料 ,但其缺 点是硬度低 、耐磨性能差 ,当用作滑动部件 ( 如阀及 导杆 、活塞销和连杆轴等) 时 ,易与对磨材料粘着 ,产 生磨损 ,这就严重地限制了其应用范围 。为了提高 钛及钛合金的耐磨性 ,国内外学者作了大量的研究 工作 ,其中主要是采用表面强化技术 ( 如化学热处 理 、高能束热处理等) ,在钛及钛合金表面形成氮化 物 、碳化物和硼化物等硬质相 ,从而提高其表面硬度 和耐磨性 。本文试就这方面的研究成果作简要的阐 述 。 2 化学热处理 为提高钛及钛合金的耐磨性 ,已试验过的化学 热处理方法有渗氮 、渗硼 、渗氧 、渗碳等 , 据资料报 道 ,渗氮和渗硼可获得较满意的结果 。 2. 1 渗氮 钛及钛合金的渗氮工艺主要包括气体渗氮和等 离子体渗氮 。 气体渗氮[ 1 ,2 ] 2. 1. 1 气体渗氮是通过在氮气或在氮气 —氢气气氛中 加热处理 ,而在钛及钛合金表面形成 Ti2N 及 TiN 等 硬质相 ,从而提高其表面耐磨性 。文献1 使用真空 (充气) 石英管炉对纯钛进行了气体渗氮 ,工艺流程 如下 :将已清洗和化学抛光的试样装入炉内 ,抽真空 至 6 . 666 ×10 - 3 Pa 左右 ,接着升温至 800 ℃～970 ℃, 然后通入纯化 N2 ,保温一定时间停炉空冷 。试验结 果表明 ,纯钛经高温气体渗氮后 ,表面形成一层致密 收稿日期 :1998 - 09 - 13 ;修回日期 :1999 - 03 - 19 孙荣禄 ,1964 年出生 ,博士研究生 ,主要从事宇宙空间环境下材料耐磨和减磨涂层的研究 的由 Ti2N 及 TiN 组成的膜 ,其显微硬度 ( HV ) 可达1 018 的由 Ti2N 及 TiN 组成的膜 ,其显微硬度 ( HV ) 可达 1 018 原始显微硬度 ( HV) 为 237 。 气体渗氮工艺简便易行 ,但存在氮化速度慢 、渗 层薄 、渗层脆等缺点 。 2. 1. 2 等离子体渗氮[ 3～9 ] 等离子体渗氮是利用辉光放电来实现的 ,在等 离子体渗氮过程中 ,等离子