半导体材料和化学品的特性.pdf

第２章　半导体材料和化学品的特性 ２．１　引言 半导体材料拥有特有的电性能和物理性能，这些性能使得半导体器件和电路具有独特 的功能。我们将这些性能与原子的基本性能、固体、本征半导体和掺杂半导体的电性能一 同分析。 半导体器件的制造需要添加各种薄层来实现器件的特定功能。这些材料具有特定的属 性，必须通过仔细选择添加到晶圆上，并受控于物理和化学过程。 本章讨论和阐述气体、酸、碱和溶剂的基本性质。在第５章和专门的工艺章节讨论特种 化学品（“污染控制”）。 介于金属和介质材料之间的半导体材料的一个特性是可以通过掺杂增加特定的元素来改 变和控制其电性能。本章还要介绍这些性质和结果。虽然硅是最常用的半导体材料，对于它 们的特殊性质还有其他用途。本章将表征和讨论这些性质。 ２．２　原子结构 ２．２．１　玻尔原子 要想理解半导体材料就必须了解原子结构的基本知识。 原子是自然界的基本构造单元。自然界中的任何事物都是由９６种稳定元素（ｅｌｅｍｅｎｔ）和 １２种不稳定元素组成的。每一种元素都有不同的原子结构，不同的结构决定了元素的不同特性。 例如，黄金的特性是由黄金的原子结构决定的。如果一块黄金不断地被分割而变小，那 么最终会留下最小可能的一小块，依然能与其他元素区分并呈现出黄金的特性，这一小块就 是金原子。然而，金原子堆积起来后才呈现出独特的性质。 进一步分下去，就会产生构成每个原子的３个部分。它们被称为亚原子粒子（ｓｕｂａｔｏｍｉｃ ｐａｒｔｉｃｌｅ），也就是质子（ｐｒｏｔｏｎ）、中子（ｎｅｕｔｒｏｎ）和电子（ｅｌｅｃｔｒｏｎ）。这些亚原子粒子各有其特性。 要组成金原子就要求这些亚原子粒子有特定的组合和结构。著名物理学家尼尔斯 ·玻尔（Ｎｉｅｌｓ Ｂｏｈｒ）最早把原子的基本结构用于解释不同元素的不同物理、化学和电性能（见图２．１）。 在玻尔的原子模型中，带正电的质子和不带电的中子集中在原子核中，带负电的电子围 绕原子核在固定的轨道上运动，就像太阳的行星围绕太阳旋转一样。带正电的质子和带负电 的电子之间存在着吸引力，不过吸引力和电子在轨道上运行的离心力相抵，这样一来原子结 构就稳定了。 每个轨道容纳的电子数量是有限的。在有些原子中，不是所有的位置都会被电子填满， 这样结构中就留下一个“空穴”。当一个特定的电子轨道被填满后，其余的电子就必须填充到 下一个外层轨道上。 第２章　半导体材料和化学品的特性 １５ 图２．１　玻尔原子模型 ２．３　元素周期表 我们现在知道，原子和基本粒子比玻尔模型更为复杂，而质子和中子是其组成部分。幸 运的是，该模型描述元素的属性达到了能说明不同元素性质的一个层次。 不同的元素，其原子中的电子、质子和中子数是不同的。幸运的是，自然界把这些亚原 子粒子有序地组合起来。如果对决定原子结构的一些规则进行研究，就会对理解半导体材料 和工艺化学品的特性有所帮助。原子（也是元素）的范围包括从最简单的氢原子（有一个电 子）到最复杂的铹原子（有１０３个电子）。 氢原子只包括一个原子核中的质子和一个电子。这种组合解释了原子结构的第一条规则。 １．在任何原子中都有数量相等的质子和电子。 ２．任何元素都包括特定数目的质子，没有任何两种元素有相同数目的质子。氢在原子核 中有１个质子，而氧原子有８个质子。 这条规则引出了人们对每种元素指定特定序数的做法，“原子序数”（ａｔｏｍｉｃｎｕｍｂｅｒ）就等 于原子中质子的数目（也就是电子的数目）。元素的基本参照是元素周期表（见图２．２）。 周期表中每种元素都有一个方格，内有两个字母。原子序数就在方格的左上角。钙（Ｃａ） 的原子序数为２０，所以我们立即知道钙原子核中有２０个质子，轨道系统上有２０个电子。 中子是中性不带电的粒子，与质子一起构成原子核。 图２．３表示出了１号元素氢、３号元素锂和１１号元素钠的原子结构图。当建立这些结 构图的时候，就可以观察到电子在合适的轨道上分布的规则。该规则就是每个轨道 ２ （ｎ）只能容纳２ｎ个电子。按此算法，１号轨道只能容纳２个电子。该规则迫使锂的 第３个电子进入第２个轨道。第２个轨道的电子数受该规则