压电式传感器深度介绍.ppt

2002/12总结 第6章 压电式传感器 压电式传感器是一种有源的双向机电传感器。它的工作原理是基于压电材料的压电效应。石英晶体的压电效应早在1680年即已发现，1948年制作出第一个石英传感器。 6.1 压电转换元件的工作原理 某些晶体或多晶陶瓷，当沿着一定方向受到外力作用时，内部就产生极化现象，同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去掉后，又恢复到不带电状态；当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。上述现象称为正压电效应。反之，如对晶体施加一定变电场，晶体本身将产生机械变形，外电场撤离，变形也随着消失，称为逆压电效应。 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.1 压电转换元件的工作原理 6.2 影响压电式传感器主要因数 ①横向灵敏度 横向灵敏度是衡量横向干扰效应的指标。一只理想的单轴压电传感器，应该仅敏感其轴向的作用力，而对横向作用力不敏感。产生原因是压电片制造得作用面不平行，粗糙， 以及安装不精确，使得力轴 Sm与电轴SL（极化轴）不重 合。二者成?角。其定义用其 相对轴向灵敏度的百分比表 示。 6.2 影响压电式传感器主要因数 定义（用轴向灵敏度的百分比表示）： 最大横向灵敏度 Km=(Ky/Kz)100% =tg?×100%; 一般横向灵敏度 Kt=(Kt/Kz)100% =tg?×cos?×100%; 6.2 影响压电式传感器主要因数 产生横向灵敏度的必要条件 （1）伴随轴向作用力的同时，存在横向力； （2）压电元件本身具有横向压电效应。 消除横向灵敏度的技术途径 （1）从设计、工艺和使用诸方面确保力与电轴的一致； （2）尽量采取剪切型的力-电转换方式。一只较好的压电传感器，最大横向灵敏度不大于5%。 6.2 影响压电式传感器主要因数 ②环境温度和湿度 环境温度对传感器的影响主要通过三个因素： （1）压电材料的特性参数； （2）某些压电材料的热释电效应（当一些晶体受热时，在晶体两端将会产生数量相等而符号相反的电荷。这种由于热变化而产生的电极化现象称为热释电效应 ）； （3）传感器结构。 环境温度变化会使压电材料的压电常数d、介电常数ξ、电阻率ρ和弹性系数k等机电特性参数发生变化。d 和k 的变化将影响传感器的输出灵敏； ξ和ρ的变化会导致时间常数τ＝RC的变化，从而使传感器的低频响应变化。 6.3 压电材料 选用合适的压电材料是设计高性能传感器的关键。一般应考虑以下几个方面： ①转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； ②机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高、机械刚度大。以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； ③电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期望减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； ④温度和湿度稳定性要好：具有较高的居里点、以期望得到宽的工作温度范围； ⑤时间稳定性：压电特性不随时间蜕变。 6.4 等效电路 压电式传感器对被测量的变化是通过其压电元件产生电荷量的大小来反映的，因此它相当于一个电荷源。 而压电元件电极表面聚集电荷时，它又相当于一个以压电材料为电介质的电容器，其电容量为： 6.4 等效电路 当压电元件受外力作用时，两表面产生等量的正、负电荷Q，压电元件的开路电压(认为其负载电阻为无穷大)U为 这样，可以把压电元件等效为一个电荷源Q 和一个电容器Ca的等效电路；同时也等效为 一个电压源U和一个电容器Ca串联的等效电 路。其中Ra为压电元件的漏电阻。 6.4 等效电路 压电式传感器的灵敏度 电压灵敏度：单位力产生的电压； 电荷灵敏度：单位力产生的电荷； ， 。