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第 8 章扫描电子显微分析 主要内容 扫描电镜 扫描电镜应用实例 波谱仪 能谱仪 电子探针分析方法 扫描电镜SEM 全称扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope：是近代研究表面微观世界的一种全能电子光学仪器，利用它可以观察任何不规则的原始表面，所观察到的像比其它类型的显微镜更富有立体感，并能在原位同时进行成分分析和结构分析。 扫描电镜的基本工作原理 利用电子束作为照明源，电子束经过聚焦，变成极细的电子探针，在试样表面作光栅状扫描，其高能量电子与所分析试样物质相互作用，从而产生各种信息（主要有二次电子、背反射电子、俄歇电子、X一射线、阴极发光、吸收电子和透射电子）等。 扫描电镜的基本工作原理 而各种信息的强度和分布同试样的表面形貌、成分、晶体取向以及表面状态等因素有关，通过接收（采集）和处理这些信息．并利用计算机技术进行处理，便可以获得表述试样形貌的扫描电子象或者进行成分分析与结晶学分析。 扫描电镜主要特性 （1）能直接观察大尺寸试样的原始表面。而且能反映样品的真实形貌．这对于许多故障进行失效分析是非常有利的。 (2）试样在样品室中可移动的自由度大。样品可在三维空间平移、旋转、倾斜，这对观察不规则形状试样的各个区域细节极为方便。 (3）景深长、图像富有立体感。其景深比普通光学显微镜大两个数量级，从而容易获得立体感较好的图像。 (4)图像的放大倍率可