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真空与磁控溅镀概论 ◇福茂工程(香港)有限公司 陈厚模 一、真空概论与基本系统架构 所谓的人造真空，就是使用“真空泵” (Vacuum 地球上对流层空气(Air)的组成为：78.08% 氮气(Nitro- Pump)将一个腔体中的空气分子抽出来，并使腔体内的压 gen ，N )、20.95% 氧气(Oxygen ，O )、0.934% 氩气(Argon , 力处于比一个“标准大气压力”低的状态。这种装置除了 2 2 Ar)、0.033% 二氧化碳(CO )与0.003%的其它气体(0.00182% 能将空气抽出来之外，还能保持空气分子不再回流到腔体 2 氖 Neon ,Ne ;0.00053% 氦 Helium , He……)，而真空(Vacuum) 中，从而维持腔体内与外界之间的压力差。其实，任何液 顾名思义就是在一个区域内把所有的气体排除后，该区域中 体或固体的表面分子或原子也会变成气体，我们称这些气 所处的环境状况。不过，绝对真空仅仅是一个理想的状况， 体为“蒸气”(Vapor )。各种分子与原子在容器中所产生 当科学家把一个容器中的气体抽光时，还是会在容器内测到 的“蒸气压力”(Vapor Pressure)并不相同，例如在一个标准 一些残留的压力，我们称之为真空压力，这是由于残余在容 大气压力中，氮气压力占792mbar 、氧气占212mbar 、氩气占 器中的气体分子仍在做相对运动，因相互的撞击而产生的压 9.47mbar、氦气占5.3×10-3mbar 。此外，这些气体分子或原子 力。一般我们说真空，是指容器内的压力低于一个“标准大 还会由于环境温度的降低而凝结回液体或固体。使用真空泵 气压力”(Standard Atmosphere , ATM)时的状况。当初，意大 的意义在于，可将这些气体分子原子排到腔体之外，以便将 利学者托里切利(Torricelli)将盛满水银的玻璃试管倒置于水银 单一或多种人为控制气体充入到该真空腔体中，从而可以进 槽中，发现试管的顶端产生了一个空的区域，因而认为这个 行物理或化学上定性与定量的实验分析。如果要了解有关不 区域为真空，所以今后人们就以这个水银柱的高度 760mm 来 同温度下存在不同的蒸气压力的概念，可以想一想“伽利略 代表一个标准大气的压力。 温度计”(Galileo Thermometer)的基本工作原理。 旧的真空压力单位采用托耳(Torr) ，也就是1Torr =1/760atm ，也可以看作1Torr≈1mmHg，即1atm=760 mmHg=760Torr 。新的真空压力单位采用“国际标准 26°C 2 单位”(SI unit)的“帕”(Pascal , Pa)，定义为1 Pa= 1N/m 。