XPS原理与分析报告.pptVIP

B、俄歇线 原子中的一个内层电子光致电离射出后，内层留下一空穴，原子处于激发态。激发态离子要向低能转化而发生驰豫；驰豫通过辐射跃迁释放能量。 辐射出的的射线波长在x射线区? x射线荧光 跃迁使另一电子激发成自由电子?俄歇电子 多以谱线群方式出现 俄歇线 OKLL、CKLL KLL:左边代表起始空穴的电子层，中间代表填补起始空穴的电子所属的电子层，右边代表发射俄歇电子的电子层 C、XPS卫星线 用来照射样品的单色x射线并非单色，常规Al/Mg Ka1,2射线里混杂Ka3,4,5,6和Kb射线，它们分别是阳极材料原子中的L2和L3能级上的6个状态不同的电子和M能级的电子跃迁到K层上产生的荧光x射线效应。这些射线统称XPS卫星线。 Mg Ka射线的卫星峰 x射线卫星线 Al Ka 、Mg Ka卫星峰离主光电子峰的位移和相对强度 射线名称 Ka1,2 Ka3 Ka4 Ka5 Ka6 Kb Mg靶 高动能端位移 0eV 8.4eV 10.2eV 17.5eV 20.0eV 48.5eV 相对强度 100 9.2 5.1 0.8 0.5 2.0 Al靶 高动能端位移 0eV 9.8eV 11.8eV 20.1eV 23.4eV 69.7eV 相对强度 100 7.8 3.3 0.42 0.28 2.0 D、能量损失线 光电子能量损失谱线是由于光电子在穿过样品表面时发生非弹性碰撞，能量损失后在谱