Q_320205 GMCS01-2019化学品配液供应系统.pdf

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2019-11-22 发布于湖南
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吉姆西半导体科技(无锡)有限公司企业标准 Q/320205 GMCS01-2019 化学品配液供应系统 2019-02-27 发布吉姆西半导体科技(无锡)有限公司发布自我承诺我司编写并公开的Q/320205 GMCS01-2019《化学品配液供应系统》规定的内容符合国家有关法律法规、强制性标准及相关产业政策的要求，并按照规定程序由企业法人代表批准发布。我司生产的产品符合本标准规定的各项技术要求，标准编号在相应的产品或产品包装上明示。我司对声明公开信息的真实性、准确性、合法性负责，对本标准实施的后果承担全部法律责任。吉姆西半导体科技(无锡)有限公司 2019-02-27 Q/320205 GMCS01-2019 技术指标1 指标名称：化学药液供液系统常用标准技术指标1的指标要求文件 1 技术要求 1.1 一般要求 1.1.1 化学药液供液系统应符合本标准的规定，并按规定程序批准的图样和技术文件制造。 1.1.2 化学药液供液系统的设计和改进，应符合GB/T 601-2016 化学试剂标准滴定溶液的制备、GB-T 11547-2008 塑料耐液体化学试剂性能的测定、GB 150.1-2011 压力容器的规定。 1.1.3 化学药液供液系统性能指标应符合表 1的规定。性能名称性能指标化学品配管中流量 L/min， ≥ 20 L/min 化学品配管中流速 m/sec， ≥ 0.7m/sec 研磨液最小可控制精度 ±50ml 研磨液配比精度 ±2% 研磨液同纯水可配比范围 1:0-1:9 研磨液可配比最小容量(需要确保调和精度) 25L 可能运转时间(uptime)%,≥ 98% 平均故障间距时间(MTBF)h ≥ 500 平均故障修复时间(MTTR)h ≤ 2 表1