抛物面型X射线组合折射透镜聚焦性能的理论与试验研究.pdfVIP

第卷第期 年月 ５９ ３ ２０１０ ３ 物　 理　 学　 报 Ｖｏｌ．５９，Ｎｏ．３，Ｍａｒｃｈ，２０１０ １０００３２９０／ ２０１０／ ５９ ０３ ／１　９７７０８ （） ＡＣＴＡ ＰＨＹＳＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ２０１０ Ｃｈｉｎ．Ｐｈｙｓ．Ｓｏｃ． 抛物面型Ｘ射线组合折射透镜聚焦性能的  理论与实验研究 １  １ １ １ ２ １ １ ） ） ） ） ） ） ） 乐孜纯 董文 刘魏 张明 梁静秋 全必胜 刘恺 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ２） ３） ３） ３） 梁中翥 朱佩平 伊福廷 黄万霞　 　 　 ）（浙江工业大学理学院，杭州 ） １ 　 ３１００３２ ）（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 ） ２ 　 １３００３３ ３）（中国科学院高能物理研究所，北京　 １０００４９） （２００９ 年６ 月９ 日收到；２００９ 年７ 月１４ 日收到修改稿） 结合衍射理论和矩阵光学方法得出抛物面型射线组合折射透镜的光学性能指标（包括其焦距的严格表达 　 　 Ｘ 式、薄透镜近似的判定准则、透过率和有效孔径，以及极限聚焦光斑尺寸等）．采用Ｘ射线深度光刻技术实际制作了 材料抛物面型射线组合折射透镜并给出了工艺测试结果最后在北京同步辐射装置（ ）上，实际构建 ＰＭＭＡ Ｘ ． ＢＳＲＦ 了基于种不同结构参数的 材料抛物面型射线组合折射透镜的微束聚焦实验系统并实际测试了其聚焦 ３ ＰＭＭＡ Ｘ ． 性能，均获得了良好的聚焦效果，给出实测结果并对实测结果进行了分析和讨论． 关键词：Ｘ射线光学，Ｘ射线组合折射透镜，Ｘ射线聚焦性能，同步辐射 ＰＡＣＣ：６１８０Ｃ，４２７８Ｃ，４２７８Ｆ，２９２０Ｌ Ｘ射线组合折射透镜是一种基于折射效应的新 Ｘ Ｓｎｉｇｉｒｅｖ ［］３ １９９６ １ 引 言 型射线光学器件，由 等在 年提出 并研制成功，之后国际上关于Ｘ 射线组合折射透镜 与可见光相比Ｘ射线的波长很短，因此理论上 的设计理论、制作技术和实验系统的报道相继出 ［—］ ４ １１ 具有很高的分辨能力． 自Ｘ 射线发