单线阵CCD系统的表面凹坑缺陷检测方法.pdf

第４４卷　第４期 哈　尔　滨　工　业　大　学　学　报 Ｖｏｌ４４ Ｎｏ４ 　 　 ２０１２年４月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＨＡＲＢＩＮＩＮＳＴＩＴＵＴＥＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ａｐｒ．２０１２ 　　　　　　 单线阵ＣＣＤ系统的表面凹坑缺陷检测方法 １，２ １ ２ １ 韩芳芳 ，段发阶 ，张宝峰 ，段晓杰 （１．天津大学 精密测试技术与仪器重点实验室，３０００７２天津；２．天津理工大学 自动化学院，３００３８２天津） 摘　要：为解决表面凹坑缺陷与其他平面表面缺陷同时在线检测的问题，提出一种基于单线阵ＣＣＤ系统进 行表面凹坑缺陷检测的方法．根据光辐射照射模型和相机成像模型，建立了基于单线阵ＣＣＤ的凹坑检测数 学模型，由模型推导出图像像素灰度与凹坑深度