卤硅烷体系脱除BP杂质工艺的现状及发展趋势.pdfVIP

下载本文档

1
0
约3.74万字
约 8页
2019-12-28 发布于天津
举报
版权申诉

卤硅烷体系脱除BP杂质工艺的现状及发展趋势.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

网络出版时间：2017-10-21 18:58:32 网络出版地址：/kcms/detail/65.1174.N1858.001.html 第 35 卷第 5 期石河子大学学报自然科学版冤 Vol.35 No .5 2017 年 10 月 Journal of Shihezi University 渊Natural Science 冤 Oct . 2017 DOI:10.13880/ki.65-1174/n.2017.05.001 文章编号：1007-7383(2017)05-0529-06 硅烷体系脱除 B、P 杂质工艺的现状及发展趋势 1 1 1 1 2 3 1,2 1 张海洋，李星，张传明，满宝昌，付雁，吴成坤，张金利，代斌渊1 石河子大学化学化工学院/ 新疆兵团化工绿色过程重点实验室，新疆石河子 832003 ； 2 天津大学化工学院，天津 300072; 3 新疆晶科能源有限公司，新疆伊犁 835800冤摘要：首先，重点介绍了目前硅烷体系脱除 B、P 杂质工艺的研究进展，概述了国内外相关研究主要的方法、结果与发现；其次，分析了硅烷体系脱除B 、P 杂质工艺研究的现状，归纳出目前国内外各种方法的优劣性及适用性；最后，对国硅烷体系脱除 B 、P 杂质工艺研究进行了展望，提出国该工艺研究的发展趋势与方向，今后国应加强吸附法的研究，分子设计并合成具有特定功能的原子或基团的树脂吸附剂，用于硅烷体系除 B 、P 杂质，最终形成流程简单、能耗较低、除杂效果稳定的树脂吸附工艺。关键词：硅烷；B 、P 杂质；提纯；树脂吸附中图分类号：TQ223 . 12 文献标志码：A The Research Status and Development Tendency in the Technology of Boron and Phosphorus Removal from Halogenosilane System 1 1 1 1 2 3 Zhang Haiyang , Li Xin , Zhang Chuanmin , Man Baochang , Fu Yan , Wu Chengkun , Zhang Jinli1,2, Da Bin1 (1 School of Chemistry and Chemical Engineering Shihezi University/Key Laboratory for Green Processing of Chemical Engineering of Xinj iang Bingtuan, Shihez