传感与控制-集成霍尔传感器的原理、结构、特性和应用.docVIP

＜ 自动化仪表＞ ２ 卷 第 ３ 第 ４ 期 ２０ ０ ３年 ３月　 在 室 温 下 可 达 到 ６ Ｖ Ａ Ｅ ，　　 ０ ／ Ｔ２ ２Ｊ １２。 ３． 应 力 、 和 压 力 传 感 器　 ９ 力 芯 片 上 对 称 放 置 ８个 相 差 ４ ｏ 偏 置 电 流 电 极 ， 一　 ５的 由 个 开 关 控 制 ， 流 电极 每 变 化 ４ 。 输 出 一 个 与 该 电　 电 ５就 流 方 向 垂 直 的 电 压 。 霍 尔 效 应 本 身 与 偏 置 电 流 的 方　 向无 关 ， 此 采 用 平 均 被 测 电 压 的 方 法 可 将 霍 尔 电　 因 压 与 呈 正 弦 曲 线 的 周 期 性 失 调 分 量 分 开 ， 调 电 压　 失 减至 几微 特斯 拉 。图 ２ ２是 Ｓ． ｅｌｋ ｍ分 别 用 双 极 和　 Ｂｌ ｏ ｅ 图 ２ 是 一种霍 尔法 向应 力传 感 器 ， 由外壳 、 ４ 它 双　 头 螺 栓 、 感 器 、 磁 铁 、 心 膜 片 和 刚 性 环 等 部 分　 传 ２个 中 组 成 。为 了减 少 非 线 性 和 迟 滞 ， 膜 片 和 环 加 工 成 一　 该 个整体 。图 ２ 是 一种霍尔效应 边界剪切应 力传 感器 ， ５ 　 Ｃ ０ Ｍ Ｓ工 艺 制 成 的 ２种 霍 尔 板 。 Ｃ ０ Ｍ Ｓ霍 尔 板 由 环 型　 的 Ｐ—ｎ结 围 绕 着 ， 用 注 入 和 扩 散 工 艺 形 成 ｎ型 阱 ； 采 　 双 极 霍 尔 板 的 掺 杂 轮 廓 在 Ｐ型 芯 片 与 ｎ型 外 延 层 之　 间是一 个 陡变 的 台阶 ， 长在 芯 片的顶 部 ＿ 生 ｌ 　 压［ 　 它由支撑块及其 两对 磁铁 ， 磁铁 上 的传感 器 ， 、 支　 上 下 持 块 和 两 侧 的 盖 等 部 分 组 成 。被 测 剪 切 应 力 沿 上 支 撑　 块 方 向 。 它 的 测 量 原 理 是 检 测 受 力 的 两 个 悬 臂 梁 的 弯　 。 Ｈ． 　 曲 和 位 移 程 度 。该 线 性 输 出式 霍 尔传 感 器 被 粘 到 一 个　 小 钢 条 上 ， 后 再 粘 到 一 块 支 撑 板 上 。 另 一 对 磁 铁 连　 然 接 到极 性 相 反 的 支 承 板 上 。 图 ２ ６是 一 种 由 ２个 霍 尔　 Ｂａｃａ ｌ ｈｒ 采 用 另 一 种 方 法 补 偿 传 感 器 的 失 调 电　 ｎ ｄ等 元 件 和 ４ 磁 铁 构 成 的 １ 压 力 或 测 力 传 感 器 。在 这　 块 个 种 结 构 中 ， 个 霍 尔 元 件 均 在 一 对 磁 铁 间 从 一 极 运 动　 每 到 另 一 极 。 每 个 霍 尔 元 件 产 生 的 位 移 Ｓ与 输 出 电 压　 呈 线 性 关 系 。 将 磁 铁 与 霍 尔 元 件 之 间 的 距 离 减 至　 ０ １ ｍ， 感 器 的 灵 敏 度 达 １ｍ ／ｔＩ 。 ．ｍ 传 ５ Ｖｂ － 　 ｍ　 — — 测到的失调 电压　 旋 电流 法原 理　 ＣＯ工艺　 ＭＳ Ｊ 　 ● ? ｌ 　 传 　 铁　 形阱　 ?　 图 ２ 霍 尔垂 直 压 力 传 感 器　 ４ 图 ２ 双 极 、 Ｍ Ｓ自旋 电 流 型 霍 尔传 感 器　 ２ ＣＯ 图２ ３是 Ｓ Ｒ． ｔ ｕ 等 人 利 用 “ 利 排 他 定 律 ” ． ｉ 　 ｔ ｎ’ Ｈｏ 泡 　 制 成 的 耐 高温 磁 场 传 感 器 ， 的 主要 特 点 是 ， 规 模 减　 它 大 少 传 感 器 激 励 区 内 的 热 致 载 流 子 的 浓 度 ； 用 无 外 延　 采 层 的 体 型 硅 结 构 ， 于 没 有 Ｐ—ｎ结 ， 此 消 除 了 结 泄　 由 因 两 －＇ 　 　　 、 粱 　 漏电流 ； 它采 用 ｎ 　一ｎ结 或 Ｐ 　一Ｐ结 的结构 ， 将传 感　 器 的 温 度 范 围提 高 至 ４ ０ ， 尔 灵 敏 度 提 高 了 ５倍 ， ０℃ 霍 　 图 ２ 霍 尔 剪 切 应 力 传 感 器　 ５ ａ剖 　 面图 图 ２ 耐 高温 霍 尔传 感 器　 ３ ６　 图 ２ 霍 尔测 力 传 感 器　 ６ Ｐ ＲＯＣ Ｓ ＡＵＴＯＭ ＡＴＩ ＥＳ 　 ＯＮ　ＮＳ Ｉ ＴＲＵＭ ＥＮ ＴＡＴ ＯＮ，Ｖｏ ． ４，Ｎｏ． ， ａ ． ０ ３ Ｉ １２ ３ Ｍ ｒ ，２ ０ 　 集成霍 尔传感器 的发展　 白韶红　 ３ １ 电 流 传 感 器　 ． Ｏ 典 型 的 霍 尔 电 流 传 感 器 有 磁 气 比例 式 和 磁 气 平 衡　 式 两 种 ， ２ 是 磁 气 比例 式 传 感 器 的 原 理 图 。 当 被 测　 图 ７ 电 流 通 过 置 于 传 感 器 开